科普 MIYUKI 美幸辉 日本深耕高洁净真空流体控制领域的*厂商

MIYUKI 美幸辉（MIYUKI CO.,LTD.），是日本深耕高洁净真空流体控制领域的*厂商，成立以来专注服务半导体、液晶面板、真空镀膜等高端制程，定位区别于通用工业真空阀门厂商，所有产品的研发出发点，都是洁净制程下的精密真空压力控制，也是日系半导体设备厂商常用的真空调压配套，京都玉琦可提供全系列型号订货服务。

半导体、液晶面板制造属于微米甚至纳米级精密工艺，腔体内部的压力微小波动、阀门动作析出的粉尘颗粒，都会直接造成晶圆、面板良品率下降。美幸辉抓住这个行业痛点，把低发尘、高洁净、高精度压力闭环控制作为核心技术主线。从阀体基材、密封材料、润滑介质、内部流道抛光工艺，全部针对无尘真空环境优化选型，阀体内腔经过特殊镜面抛光处理，密封件选用适配半导体工艺的特种氟橡胶、全氟密封材质，在阀门开关、连续调节动作过程中，微粒析出量严格控制在极低水平，不会污染腔体内部的晶圆、基板。

核心产品线分为四大板块：伺服真空蝶阀、气动真空蝶阀、真空闸阀、真空压力控制器，整套组合可以构成完整的真空闭环调压系统。 伺服真空蝶阀是*产品，内置伺服驱动机构，区别于普通气动阀只有全开、全关两档状态，伺服阀可以无级连续调节阀门开度，开度分辨率极高；搭配同真空压力控制器，控制器实时采集真空腔体内真空压力传感器信号，和设定压力对比，自动输出信号调整伺服蝶阀开度，形成闭环负反馈，稳定锁定腔体真空度，是刻蚀、沉积、等离子工艺里*核心的调压组件； 气动真空蝶阀主打快速通断，响应速度快，多用于真空管路隔离、粗抽管路切换，高，适合不需要连续调压、只需要快速切断或者导通的真空回路； 真空闸阀主打高真空工况，密封结构可靠，漏率极低，适合高真空腔体主路隔离，停机维护时隔绝腔体与真空泵，保护真空环境； 真空压力控制器是整套调压系统的 “大脑”，支持多段压力程序设定、压力斜坡控制、压力报警输出，自带 RS485、以太网通讯，可以对接 PLC、设备上位机，工艺参数可以远程下发、运行数据上传。

不同阀型适配不同真空区间，覆盖粗真空、低真空、中真空多种工况，阀体规格齐全，法兰接口匹配日本 JIS、国际 ISO 标准真空法兰，方便和现有真空腔体、真空泵、管路对接。阀体结构兼顾散热，长期连续调节工况下稳定性强，不容易出现温漂导致的压力失控。

长期和东京电子、佳能、住友等日系半导体、面板设备原厂配套，产品经过长期量产验证，在国内 TFT-LCD 面板厂、OLED 产线、半导体刻蚀沉积设备、真空镀膜设备改造项目中应用非常广泛。除了全新整机，也长期稳定供应阀门密封件、伺服马达、压力传感器等维修备件，方便产线维护。