科普 ULVAC 爱发科 日本*真空技术企业

一、基础档案

ULVAC，中文名称爱发科，全称株式会社 ULVAC，是日本*真空技术企业，前身创立于 1952 年，原名为日本真空技术株式会社，2001 年正式更名为株式会社爱发科，部坐落于日本神奈川县茅崎市，东京证券交易所上市，是全球真空设备领域厂商，标语：Ultimate in Vacuum，追求真空极限爱发科(中...。

企业经营理念：综合运用真空及其周边技术，为产业、科学发展贡献力量。集团在全球十多个*设立子公司与服务网点，拥有大量真空相关，深耕真空领域七十余年，是半导体、显示行业薄膜工艺核心设备供应商爱发科(中...。

二、发展简史（基础常识）

1. 1952 年，由工程师团队创立，起步研发基础真空装置；

2. 1963 年，确立 ULVAC 商标，逐步开发真空熔炼炉、真空镀膜设备；

3. 1990 年代，发力 LCD 液晶成膜溅射设备，奠定平板显示设备全球地位；

4. 1995 年进入，设立真空泵生产基地；2003 年成立苏州全资工厂，搭建国内本土化生产、销售、维保体系；

5. 后续持续迭代半导体溅射、刻蚀、氦检漏仪、表面分析仪器等产品线，覆盖半导体、MEMS、锂电、光学等高新产业，国内以上海、苏州为核心，在合肥、成都、厦门、深圳多地设立服务网点，本地化技术支持完善爱发科(中...。

三、核心产品线

爱发科产品分为两大板块：大型真空工艺设备 + 真空配套元器件（我们常接触的物料）

1. 大型工艺设备：半导体 / 面板溅射镀膜机、刻蚀设备、离子注入设备、真空热处理炉、真空冶金设备、锂电池薄膜制备设备；

2. 真空配套元器件（贸易常用）：干式真空泵、油旋片泵、分子泵、氦质谱检漏仪、皮拉尼真空计、真空阀门、溅射靶材、真空压力传感器、真空腔体配件；

日常物料高频型号：DIS 系列涡旋干泵、皮拉尼真空计、HELIOT 系列氦检漏仪。

四、产品核心特点

1. 全真空链条技术：从高真空、高真空设备到真空测量、真空获取元器件，整套方案，稳定性强；

2. 精密可控：适合薄膜沉积、芯片制造这类对洁净度、真空度要求严苛的工艺；

3. 品类丰富：既有产线大型镀膜设备，也有可单独采购的小型真空泵、真空计、检漏仪表；

4. 兼顾科研与量产：高校实验室、研究所小设备，以及半导体工厂大规模量产产线设备均有覆盖；

5. 国产配套服务：国内拥有生产工厂、备件仓库与维保团队，设备维修、备件更换可本地化处理。

五、主要应用行业

• 半导体、化合物半导体、MEMS 微机电传感器（和前面 SD2 阳极键合玻璃配套使用）

• 平板显示、OLED、Micro-LED、光学薄膜、光通信器件

• 锂电池、光伏太阳能、真空冶金

• 科研所、理化实验室、精密分析检测

• 汽车零部件、食品医药真空处理

宫崎科技与 ULVAC 爱发科的合作关系宫崎科技（厦门）有限公司为爱发科真空元器件、小型真空设备的代理商，专注 ULVAC 真空泵、真空计、射频电源、检漏仪等真空配套零部件的国内市场供应。