尺寸:10–50
材料:SUS304
日本NFK南国工业(南国フレキ工業)V-KF-TE 属于 ISO-KF(NW/QF)标准T型三通真空管件(KF T-piece / Tee with Equal or Reducing Branch),是NFK真空配管产品线中专为真空系统分流、汇流、泵组抽气支路引出、规管/电离计/放气阀安装接口扩展设计的刚性连接组件。V-KF-TE与V-KF-S(KF柔性软管)、V-KF-B(KF盲板)等同属NFK真空管件家族,材质与密封标准完全兼容ISO 2861,可与任意ISO-KF法兰软管或硬管直接对接。
结构与材质:本体为SUS304无缝钢管或板金焊接成T形(Equal Tee——三端口同口径;Reducing Tee——支管口径小于主管可特别订制),内表面经清洗钝化处理(高纯型可选内壁电解抛光Ra≤0.8μm,用于半导体前道UHV系统);三个端口端面TIG自动焊接ISO-KF标准法兰(KF10/KF16/KF25/KF40/KF50,对应公称尺寸10~50),法兰材质SCS13(SUS304)或SCS16(SUS316L),密封面为精密加工刀口(Knife Edge);标配需另配KF定心环(Center Ring/O-ring Holder)+FKM(Viton) O型圈(标准-15~+150℃)或硅橡胶/金属密封圈(高温/高真空型-40~+200/450℃)+铝/不锈钢卡箍。T型内腔无阻挡,流导依口径按分子流/粘滞流计算——大口径T件(KF40/KF50)常用于主抽气支路以降低流导损失。无挠性位移功能,属刚性真空管件。
规格参数:公称口径KF10(DN10)/KF16/KF25/KF40/KF50(尺寸范围10~50),等径三通(Equal Tee)主管与支管同口径,异径三通(Reducing Tee)如KF25×KF16可订制;外形中心距(端口面间距)依ISO-KF标准——主管两端面距通常为2×短管长+T节点中心偏移(例KF25等径T件主管面距≈80~100mm依样本),支管垂直居中;使用温度依所配密封件——FKM -15~+150℃、Silicone -40~+200℃、金属密封 -40~+450℃(短时烘烤除气);适用为高真空至低真空气体输送与分配,氦泄漏率经焊接及机加工面保证≤1×10⁻⁹ Pa·m³/s(与系统其余KF连接同级),耐压至大气压(真空组件不承正压工艺压力)。
性能特点与用途:V-KF-TE以全SUS304/316L全焊结构具零泄漏、耐烘烤、无老化、快拆可复用、ISO-KF跨互换特性,广泛用于真空镀膜/PECVD/CVD设备主抽气管路支路引出(接电离规/皮拉尼规/放气阀)、分子泵前级管路T形分流(接旁通阀或粗抽管路)、腔体多端口互联之刚性分配节点、分析仪器气路采样点三通、科研真空系统搭建时扩展安装接口(压力表/充气阀/质量流量计)。安装时KF卡箍用扳手适度锁紧(铝卡箍勿过扭矩致变形或开裂),首次抽真空建议按规程烘烤除气(依密封材料),T件较重时建议单独设支架支承(勿让KF软管承受T件重力矩)。
V-KF-TE以NFK日本制精密TIG焊接工艺、ISO-KF标准尺寸兼容性及可选电解抛光内型,成为真空工艺系统中"高真空分流/汇流+接口扩展+规管阀门安装基座"的基础刚性管件,与V-KF-S/V-KF-NP/V-KF-L/V-KF-CR(KF软管系列)、V-KF-B(KF盲板)、V-KF-E(KF90°弯头)、NK-2300V(JIS真空法兰软管)形成真空配管模块完整配套。
