尺寸:10–50
材料:SUS304
日本NFK南国工业(南国フレキ工業)V-KF-L 属于 ISO-KF(NW/QF)标准快拆真空法兰式加长波纹管金属柔性软管(KF Flange Type Extended Bellows Vacuum Flexible Hose / KF Spool Piece with Extra-long Bellows),是NFK真空配管产品线中专为需较大轴向热补偿、设备微定位调整或真空腔门开闭行程吸收而设计的"加长有效波纹管+短端管"组件。与V-KF-S(标准长度KF软管)不同,V-KF-L 显著增加波纹管有效长度(通常 Lb=100~300mm 依口径与需求订制),使轴向补偿量从标准款的数毫米提升至±10~±50mm(依波纹管有效长度与波数),同时保持ISO-KF快拆卡箍连接方式。
结构与材质:挠性元件为SUS304不锈钢MF型或CLT柔型(依长度与位移量选定)环形波纹管——加长多波串联经TIG焊接一体,高纯/腐蚀性气氛可选SUS316L,内壁电解抛光Ra≤0.8μm款用于半导体前道低析出要求;波纹管两端焊于短端管再配ISO-KF标准法兰(KF10/KF16/KF25/KF40/KF50,对应公称尺寸10~50),法兰材质SCS13(SUS304)或SCS16(SUS316L),密封面为精密加工刀口(Knife Edge);标配KF定心环(Center Ring/O-ring Holder)+FKM(Viton) O型圈(标准-15~+150℃)或硅橡胶/金属密封圈(高温/高真空型-40~+200/450℃)+铝/不锈钢卡箍,KF法兰可360°旋转便于现场对孔。出厂逐台经氦质谱检漏(Leak Rate ≤1×10⁻⁹ Pa·m³/s 或 ≤1.33×10⁻¹⁰ Pa·m³/s),波纹管有效长度与波数按所需轴向补偿量X选定(例:KF25、Lb=150mm CLT型约±20mm;Lb=250mm约±35mm)。
规格参数:公称口径KF10(DN10)/KF16/KF25/KF40/KF50(尺寸范围10~50),面间距(Face-to-Face)依波纹管有效长+两端短管——通常150mm(小口径短款)至500mm(大口径加长款)可定制;工作压力高真空(FV)~*0.1MPa(正压上限,注意长波纹管受外压屈曲限制,深真空建议选带外护或限长),使用温度依密封件——FKM -15~+150℃、Silicone -40~+200℃、金属密封 -40~+450℃(短时烘烤除气);适用流体为干燥空气、N₂、Ar、He等不腐蚀不锈钢的气体,不可用于含卤素/强酸冷凝液长期接触FKM。允许轴向位移依波纹管有效长度与波数(典型±10~±50mm),可吸收少量横向偏移与角向不对中(横向位移随长增大而增大但须校核屈曲),严禁承受扭转力矩(KF法兰旋转设计即为此目的,波纹管本体不得拧转),加长波纹管对侧向偏摆更敏感须设导向/固定点限制异常弯曲。
性能特点与用途:V-KF-L以"加长多波波纹管+KF快拆法兰"具较大轴向热/机械位移吸收能力、低弹性反力对腔体法兰作用小、快拆可旋转对位、全焊接无垫片高真空密封四大特点,适合真空腔体与闸阀/隔离阀间热胀吸收(尤其腔体受热至150~200℃时)、腔门开闭行程柔性补偿、分子泵/罗茨泵前级管路需轴向微调对位场合、真空镀膜设备源更换区柔性过渡段、科研大型真空系统需可调长度隔振段。安装时KF卡箍用扳手适度锁紧(铝卡箍勿过扭矩致变形),邻近设适当固定/导向支架(长波纹管首导向距端面≤4×DN),首次抽真空建议按规程烘烤除气(依密封材料),运输时若有长波纹管建议加临时保护筒防机械碰伤。
V-KF-L以NFK日本制加长多波波纹管TIG全熔焊工艺、ISO-KF快拆法兰适配及高真空氦检漏保证,成为真空工艺系统中"较大轴向位移补偿+隔振+快装对位+高真空密封"的关键柔性元件,与V-KF-S(标准长KF软管)、V-KF-NP(无定心环KF款)、NK-2300V(JIS真空法兰型)形成真空配管模块完整覆盖。
