扫描电镜(SEM)和透射电镜(TEM)能看到样品的微观形貌,但要想知道“这是什么元素”“晶体结构如何”“取向关系怎样”——就需要能谱仪(EDS) 和电子背散射衍射(EBSD) 等纳米分析技术。很多实验室买了高端电镜,却配了低端探测器,结果元素分析速度慢、轻元素测不准、EBSD花样率低,白白浪费了电镜的分辨率。
更隐蔽的坑:牛津仪器NanoAnalysis产品线覆盖Ultim Max能谱仪(SDD探测器)、Symmetry EBSD(CMOS-EBSD)、OmniProbe 400纳米操纵手、AZtec软件平台等完整方案。Ultim Max传感器尺寸从40mm²到170mm²可选,Symmetry S3速度过5700 pps。选型时不确认分析需求(点分析/面扫描/颗粒物分析/晶体取向),买了小面积探测器发现速度太慢,买了大面积探测器预算又了。
英国牛津仪器NanoAnalysis纳米分析系列,覆盖EDS能谱分析、EBSD晶体取向分析、纳米操纵手、颗粒物自动分析全方案。Ultim Max系列传感器面积40~170mm²可选,Symmetry系列基于CMOS技术的EBSD探测器,OmniProbe 400第九代纳米操纵手,AZtec软件平台实现EDS与EBSD数据同步采集与分析。
| 产品线 | 型号 | 核心参数 | 适用场景 |
|---|---|---|---|
| Ultim Max EDS | Ultim Max 40 | 40mm²,入门级 | 常规点/小面分析 |
| Ultim Max 65 | 65mm²,速度与灵敏度平衡 | 通用型分析 | |
| Ultim Max 100 | 100mm²,高速度面扫描 | 大面积元素分布分析 | |
| Ultim Max 170 | 170mm²,*通量 | *速度面扫描 | |
| Ultim Extreme | 100mm²,无窗型 | 轻元素(C/N/O)高灵敏度检测 | |
| Ultim Max TEM | TEM用SDD探测器 | 透射电镜纳米级元素表征 | |
| Symmetry EBSD | Symmetry S3 | >5700 pps,1244×1024像素 | 全能型EBSD,所有材料所有应用 |
| Symmetry S2 | >4500 pps | 第二代CMOS-EBSD | |
| C-Swift+ | CMOS技术,高速入门级 | 常规材料分析、高通量样品表征 | |
| C-Nano+ | CMOS技术,纳米级EBSD | 纳米材料EBSD分析 | |
| OmniProbe | OmniProbe 400 | 4自由度(X,Y,Z,R),10nm闭环编码器 | TEM样品制备、原位操作 |
| OmniProbe 350 | 3轴,500nm线性度 | 常规TEM薄片制备 | |
| AZtec软件 | AZtecLive | 实时化学成像 | EDS动态分析 |
| AZtecTEM | TEM用EDS分析软件 | 透射电镜元素表征 | |
| AZtecHKL | EBSD采集与分析平台 | 晶体取向分析 | |
| AZtecCrystal | EBSD数据处理软件 | EBSD数据后处理与可视化 | |
| AZtecBattery | 电池异物颗粒自动检测 | 电池原料与制造过程质量控制 | |
| AZtecFeature | SEM颗粒物自动分析 | 颗粒物表征 | |
| AZtecGSR | 枪击残留物自动分析 | 法医鉴定 | |
| AZtecSteel | 钢铁夹杂物自动分析 | 钢铁行业质量控制 | |
| AZtecMineral | 矿物自动分类 | 地质矿物分析 | |
| AZtecPharma | 制药行业EDS分析 | 制药质量控制 | |
| AZtecOne | 一键式EDS分析 | 快速上手EDS分析 | |
| BEX成像 | Unity | 背散射电子+X射线成像 | 同时获取成分与结构信息 |
| WDS波谱仪 | AZtecWave | 波谱仪解析X射线谱峰 | 微量/痕量元素准确分析 |
Ultim Max是牛津仪器新一代硅漂移探测器(SDD) ,采用Extreme电子元器件,在保证高计数率的同时实现高准确定量分析。
Ultim Max核心参数:
传感器面积:40mm²、65mm²、100mm²、170mm²可选
分辨率保证:在50,000 cps计数率下,C Ka分辨率优于46 eV
*计数率:过1,500,000 cps进行面分析,400,000 cps下准确定量分析
Tru-Q IQ谱处理:每个探测器在制造时单独表征,确保准确的数据处理
Ultim Extreme(无窗型) :100mm²无窗版本,*化轻元素(C、N、O)灵敏度和空间分辨率
Ultim Max TEM:TEM用SDD探测器,搭配AZtecTEM实现纳米级材料全面元素表征
适合谁:材料科学、半导体失效分析、地质矿物、电池研究、生物医学等需要进行微区成分分析的用户。
Symmetry是全球*基于CMOS传感器技术的EBSD探测器,S3是市场上真正的全能型EBSD探测器。
Symmetry S3核心参数:
速度:>5700 pps(156×128像素分辨率)
花样分辨率:1244×1024全像素——理想的高角度分辨率EBSD应变分析
灵敏度:>1000 pps/nA
角度精度:优于0.05°
光学系统:无透镜光纤耦合,亚像素畸变
软件控制倾转:自动动态校准
接近报警:自动检测潜在碰撞并移动探测器至安全位置
五个集成前散射探测器(选配) :提供全彩色通道衬度和原子序数衬度图像
King's Award:获英国国王创新企业奖
Symmetry S2:第二代CMOS-EBSD探测器,速度>4500 pps
C-Swift+:高速多功能入门级CMOS EBSD探测器,专为常规材料分析和高通量样品表征设计
C-Nano+:CMOS EBSD系列纳米级型号
适合谁:金属材料、半导体、地质矿物、电池材料等需要晶体取向、相鉴定、织构分析的用户。
OmniProbe 400是牛津仪器的第九代纳米操纵手,用于SEM/FIB中的TEM样品制备和原位操作。
OmniProbe 400核心参数:
自由度:4个自由度(X,Y,Z,R)
工作距离:4毫米或更长
编码器分辨率:10 nm闭环编码器
插入重复性:2 μm
*小速度:10 nm/s
*速度:500 μm/s
线性度:250 nm
同轴旋转:标配,针尖始终保持在视野内
原位换针:无需放气,3分钟内完成换针
Cryo选配:低温样品提取
OmniProbe 350:三轴端口安装式机械手,闭环反馈压电马达,适合常规TEM薄片制备
适合谁:半导体失效分析、材料科学研究、TEM样品制备需要纳米操作的用户。
AZtec是牛津仪器*的EDS与EBSD数据采集与分析软件平台。
| 软件模块 | 功能 |
|---|---|
| AZtecLive | 实时化学成像,将EDS从静态变为动态 |
| AZtecTEM | TEM用EDS分析,纳米级材料表征 |
| AZtecOne | 一键式EDS分析,无需大量培训 |
| AZtecHKL | EBSD采集与分析平台 |
| AZtecCrystal | EBSD数据处理软件 |
| AZtecBattery | 电池异物颗粒自动检测 |
| AZtecFeature | SEM颗粒物自动分析 |
| AZtecGSR | 枪击残留物自动分析 |
| AZtecSteel | 钢铁夹杂物自动分析 |
| AZtecMineral | 矿物自动分类 |
| AZtecPharma | 制药行业EDS分析 |
| AZtecSynergy | EDS+EBSD数据同步采集与分析 |
| AZtec3D | EDS+EBSD与FIB-SEM自动制样结合 |
| AZtecFlex | 离线数据处理许可证 |
| Relate | 联用技术图像处理,关联EDS/EBSD/SEM/TEM/AFM数据 |
| LayerProbe | 表面和亚表面层成分与厚度分析 |
NanoAnalysis系列是牛津仪器纳米分析工具箱,覆盖SEM、TEM、FIB全平台。核心优势:
完整产品线:从EDS能谱仪、EBSD探测器到纳米操纵手、分析软件,一站式解决方案
CMOS技术革命:Symmetry系列开创CMOS-EBSD时代,速度与灵敏度行业*
无窗EDS技术:Ultim Extreme实现轻元素(C/N/O)高灵敏度检测
软硬件深度集成:AZtec平台统一控制所有探测器,实现EDS+EBSD同步采集
行业方案:AZtecBattery/AZtecSteel/AZtecMineral等模块,为特定行业提供自动化解决方案
选型四步法:
先定分析需求:只需要元素成分分析(点/面)→ Ultim Max EDS(40~170mm²可选);需要晶体取向/相鉴定 → Symmetry EBSD(S3全能型/S2高性能/C-Swift+入门级);需要TEM样品制备 → OmniProbe 400;需要颗粒物自动分析 → AZtecFeature/AZtecBattery
再定传感器面积:常规分析(点/小面扫描)→ Ultim Max 40/65;高速度面扫描/低束流分析 → Ultim Max 100;*速度/*通量 → Ultim Max 170
确认轻元素检测需求:需要*化轻元素(C、N、O)灵敏度 → Ultim Extreme(无窗型)
确认软件需求:需要实时化学成像 → AZtecLive;需要电池异物检测 → AZtecBattery;需要钢铁夹杂物分析 → AZtecSteel;需要矿物分析 → AZtecMineral
*不能做的事:
轻元素(C/N/O)分析用普通窗口型EDS——灵敏度不够,应选Ultim Extreme无窗型
大面积传感器(170mm²)装在小腔体SEM——可能装不进去
需要EBSD却只买EDS——晶体结构信息无法获取
忽视AZtec软件版本——不同模块功能差异巨大,选型前确认需要的功能模块
常规材料分析买了Symmetry S3——C-Swift+更高
TEM样品制备买了OmniProbe 350而非400——400支持同轴旋转和原位换针
授权渠道:牛津仪器科技(上海)有限公司
技术支持:全球应用科学家团队、在线培训资源、远程诊断
软件升级:AZtec持续更新,现有用户免费升级
半导体失效分析:Ultim Max EDS + OmniProbe 400 TEM样品制备
金属材料:Symmetry EBSD晶体取向 + Ultim Max EDS成分分析
电池研究:AZtecBattery异物颗粒自动检测
地质矿物:AZtecMineral矿物自动分类
纳米材料:Ultim Max TEM + AZtecTEM
轻元素分析:Ultim Extreme无窗型EDS
钢铁行业:AZtecSteel夹杂物自动分析
法医鉴定:AZtecGSR枪击残留物自动分析
SEM/TEM微区成分与结构分析选型怕EDS面积选不对、怕EBSD和EDS分不清、怕轻元素测不准?
英国牛津仪器NanoAnalysis系列(Ultim Max / Symmetry / OmniProbe 400 / AZtec) ,传感器面积40~170mm²可选,CMOS-EBSD速度>5700 pps,无窗型EDS轻元素检测灵敏,全流程技术支持。牛津仪器科技(上海)有限公司提供完整解决方案。
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