真空热处理炉、烧结炉、退火炉、淬火炉——这些场景对极限压力的要求比镀膜更苛刻。很多工程师选了油旋片+罗茨机组,但前级泵用的是单级油旋片泵,极限压力只能到几帕,炉子真空度死活下不去,工件氧化变色、废品率居高不下。
更隐蔽的坑:YM-VD和YM-VS的区别很多人不知道——VS配的是VS系列单级泵,VD配的是VDN系列双级泵。双级泵极限压力比单级泵低一个数量级(6.7×10⁻¹ Pa vs 几Pa),价格差不了,但真空度天差地别。选型时不搞清楚这个区别,买回去发现极限压力不够,退货换货耽误几个月。
ULVAC YM-VD-301A / 601A / 602A / 1201A / 1202A 罗茨泵机组,由VDN系列双级油旋片真空泵、罗茨泵、安装支架、接管、控制箱、油雾过滤器等组合而成。前级泵为VDN系列双级泵,极限压力6.7×10⁻¹ Pa(气镇关),是真空热处理、烧结炉等需要更高真空度场景的理想选择。
| 项目 | YM-VD-301A | YM-VD-601A | YM-VD-602A | YM-VD-1201A | YM-VD-1202A |
|---|---|---|---|---|---|
| 前级泵 | VDN301(单泵) | VDN401(单泵) | VDN401(双泵并联) | VDN602(单泵) | VDN602(双泵并联) |
| 前级泵类型 | 双级油旋片泵 | 双级油旋片泵 | 双级油旋片泵 | 双级油旋片泵 | 双级油旋片泵 |
| 前级泵极限压力 | 6.7×10⁻¹ Pa | 6.7×10⁻¹ Pa | 6.7×10⁻¹ Pa | 6.7×10⁻¹ Pa | 6.7×10⁻¹ Pa |
| 罗茨泵 | — | — | — | — | — |
| *抽速 (50Hz) | — | — | — | — | — |
| 极限压力 | 6.7×10⁻¹ Pa | 6.7×10⁻¹ Pa | 6.7×10⁻¹ Pa | 6.7×10⁻¹ Pa | 6.7×10⁻¹ Pa |
| 吸气口径 | — | — | — | — | — |
| 冷却方式 | — | — | — | — | — |
| 标准电压 | 50Hz: 380/400/415V 60Hz: 380/400/440V | 同左 | 同左 | 同左 | 同左 |
| 油雾过滤器 | 标配 | 标配 | 标配 | 标配 | 标配 |
注1:极限压力为皮拉尼真空计测定值。
注2:VDN301泵在50Hz使用时电机为1.1kW,60Hz使用时需配1.5kW。
注3:标准电机为50Hz-380V/400V/415V、60Hz-380V/400V/440V。
YM-VD-301A 配VDN301双级泵作为前级,极限压力 6.7×10⁻¹ Pa。适合小腔体、需要高真空的热处理场景——小型真空热处理炉、退火炉、淬火炉、实验室真空系统。
VDN301抽速 30 m³/h(50Hz) ,电机功率 1.1kW(50Hz)/ 1.5kW(60Hz)
油雾过滤器标配
适合谁:小型真空热处理炉、退火炉、淬火炉、实验室真空系统、研发设备。
YM-VD-601A 配VDN401双级泵作为前级,极限压力 6.7×10⁻¹ Pa。适合中等规模真空热处理设备——真空热处理炉、烧结炉、钎焊炉。
VDN401抽速 40 m³/h(50Hz) ,电机功率 1.5kW
油雾过滤器标配
适合谁:中型真空热处理炉、真空烧结炉、真空钎焊炉、退火炉。
YM-VD-602A 配两台VDN401泵并联作为前级,极限压力 6.7×10⁻¹ Pa。双泵并联设计——抽速翻倍,且一台泵故障时另一台可继续工作,适合不能停机的热处理产线。
两台VDN401并联,抽速 80 m³/h(50Hz)
油雾过滤器标配
适合谁:中型热处理生产线、连续式烧结炉、不能停机的高可靠性场景。
YM-VD-1201A 配VDN602双级泵作为前级,极限压力 6.7×10⁻¹ Pa。适合大型腔体、高抽速需求的热处理场景——大型真空热处理炉、大型烧结炉。
VDN602抽速 60 m³/h(50Hz) ,电机功率 2.2kW
油雾过滤器标配
适合谁:大型真空热处理炉、大型真空烧结炉、真空退火炉、真空钎焊炉。
YM-VD-1202A 是YM-VD系列*号,配两台VDN602泵并联作为前级,极限压力 6.7×10⁻¹ Pa。适合大型热处理设备、连续式热处理生产线。
两台VDN602并联,抽速 120 m³/h(50Hz)
油雾过滤器标配
适合谁:大型真空热处理炉、连续式烧结生产线、大型真空钎焊设备。
YM-VD系列是ULVAC罗茨泵机组产品线中配VDN双级泵的高真空版本。与YM-VS的核心区别在于前级泵为VDN系列双级油旋片泵,极限压力更低。三大核心优势:
更低极限压力:VDN双级泵极限压力 6.7×10⁻¹ Pa(气镇关),比单级泵低一个数量级
成套供应,即插即用:罗茨泵+VDN前级泵+支架+管路+控制箱+油雾过滤器全部配好
独立支架设计,维护方便:维护前级泵时无需拆卸设备侧主管道
用途覆盖:
真空热处理:真空热处理炉、烧结炉、退火炉、淬火炉
真空镀膜:蒸发镀膜、溅射镀膜、离子镀、光学镀膜
真空干燥:真空干燥、冷冻干燥
半导体/光伏:单晶炉、多晶炉
检漏与气体:检漏设备、气体回收系统、液晶注入
家电制造:冰箱、空调自动抽空线、节能灯、背光源排气设备
选型三步法:
确认是否需要VD系列:对极限压力要求高(热处理/烧结/退火)→ YM-VD系列(配VDN双级泵);对极限压力要求一般(普通镀膜)→ YM-VS系列(配VS单级泵)即可
算抽速:小腔体 → -301A;中型 → -601A 或 -602A;大型 → -1201A 或 -1202A
定单双泵:普通场景 → 单泵规格(-301A/-601A/-1201A);不能停机/抽速要求更高 → 双泵并联规格(-602A/-1202A)
*不能做的事:
以为VD和VS通用——前级泵不同,极限压力不同,选型不能混
VDN301在60Hz时还用1.1kW电机——60Hz必须配1.5kW
用非真空泵油——影响泵的性能
不配油雾过滤器——油雾污染车间(标配已有,注意定期更换滤芯)
授权渠道:深圳京都玉崎 — ULVAC爱发科授权经销商
发货地:深圳仓 / 上海仓 直发
供货周期:YM-VD系列 订货3~4周
配套一站式采购:ULVAC真空泵油(VDN系列用R-7)、油雾过滤器滤芯、KF/ISO-K法兰管路、冷却水系统配件
技术支持:免费提供VD/VS选型对比建议、抽速计算、安装指导
真空热处理:真空热处理炉、烧结炉、退火炉、淬火炉
真空镀膜:蒸发镀膜、溅射镀膜、离子镀、光学镀膜
真空干燥:真空干燥、冷冻干燥
半导体/光伏:单晶炉、多晶炉
检漏与气体:检漏设备及系统、气体回收系统、液晶注入
家电制造:冰箱、空调自动抽空线、节能灯、背光源排气设备
热处理/烧结炉前级选型怕VD和VS分不清、怕极限压力下不去?
ULVAC YM-VD-301A / 601A / 602A / 1201A / 1202A,深圳京都玉崎订货直发,配套VDN系列R-7真空泵油及滤芯同步供应,工程师可协助出具《YM-VD系列选型确认表》。
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