日本爱发科ULVAC YM-VS-601A油旋片真空泵 深圳京都玉崎现货

日本爱发科ULVAC YM-VS-601A油旋片真空泵 深圳京都玉崎现货

日本爱发科ULVAC YM-VS-601A油旋片真空泵 深圳京都玉崎现货

日本爱发科ULVAC YM-VS-601A油旋片真空泵 深圳京都玉崎现货

镀膜/溅射油润滑前级怎么配？ULVAC YM-VS-601A / 602A / 1201A / 1202A，油旋片+罗茨成套即插即用

自己配罗茨泵机组，搭错一台整套趴窝

真空镀膜、溅射、离子镀——这些场景需要的是罗茨泵机组（罗茨泵+前级泵+支架+管路+控制箱集成）。很多工程师为了省钱自己买散件组装，结果罗茨泵和前级泵抽速不匹配，控制逻辑对不上，管路漏气，调试三个月都搞不定。

更隐蔽的坑：YM-VS系列型号后缀 -601A 和 -602A 的区别很多人分不清——-601A为单泵规格，-602A为双泵规格（两台前级泵并联），抽速和可靠性不同。选型时不注意后缀，买回去要么抽速不够、要么冗余过度成本浪费。

ULVAC YM-VS-601A / 602A / 1201A / 1202A 罗茨泵机组，由油旋片真空泵（VS系列）、罗茨泵、安装支架、接管、控制箱、油雾过滤器等组合而成，买回去即插即用，省去自行匹配的麻烦。

四款型号核心参数对比

注：极限压力为皮拉尼真空计测定值。抽速随前级泵性能变化，表中数据为与标准前级泵组合使用时的数据。

一、YM-VS-601A：单泵规格，中型镀膜/溅射主力

YM-VS-601A 配VS1501单泵作为前级，PMB600D罗茨泵。*抽速 500~550 m³/h（50Hz） ，极限压力 6.7×10⁻¹ Pa。适合中等规模真空镀膜、溅射设备。

• 吸气口径 VG80

• 油雾过滤器标配

• 水冷设计

适合谁：中型蒸发镀膜机、溅射镀膜机、离子镀设备、光学镀膜设备。

二、YM-VS-602A：双泵规格，高可靠性/大抽速

YM-VS-602A 配两台VS1501泵并联作为前级，PMB600D罗茨泵。*抽速 800~900 m³/h（50Hz） 。双泵并联设计——抽速更大，且一台泵故障时另一台可继续工作，适合不能停机的产线。

• 吸气口径 VG80

• 油雾过滤器标配

• 水冷设计

适合谁：中型镀膜生产线、连续式溅射设备、不能停机的高可靠性场景。

三、YM-VS-1201A：大型单泵规格

YM-VS-1201A 配VS2401单泵作为前级，PMB1200D罗茨泵。*抽速 850~1000 m³/h（50Hz） ，极限压力 6.7×10⁻¹ Pa。适合大型真空镀膜、热处理设备。

• 吸气口径 VG100

• 油雾过滤器标配

• 水冷设计

适合谁：大型蒸发镀膜机、大型溅射设备、真空热处理炉。

四、YM-VS-1202A：大型双泵规格，*抽速

YM-VS-1202A 配两台VS2401泵并联作为前级，PMB1200D罗茨泵。*抽速 1400~1600 m³/h（50Hz） 。双泵并联——大抽速、高可靠性。

• 吸气口径 VG100

• 油雾过滤器标配

• 水冷设计

适合谁：大型镀膜生产线、半导体制造设备、大型真空系统。

五、YM-VS系列共同优势：成套供应 + 即插即用 + 双泵冗余可选

YM-VS系列是ULVAC罗茨泵机组产品线中油润滑前级的标准配置。三大核心优势：

• 成套供应，省去匹配烦恼：罗茨泵+前级泵+支架+管路+控制箱+油雾过滤器全部配好

• 独立支架设计，维护方便：维护油旋片泵时无需拆卸设备侧主管道

• 单泵/双泵可选：-601A/-1201A为单泵规格，-602A/-1202A为双泵并联规格，按需选择

六、工程师选型避坑：YM-VS系列怎么选

选型三步法：

1. 算抽速：中型设备（500 m³/h级）→ -601A 或 -602A；大型设备（1000 m³/h级）→ -1201A 或 -1202A

2. 定单双泵：普通场景 → -601A/-1201A（单泵）；不能停机/抽速要求更高 → -602A/-1202A（双泵并联）

3. 确认电源：50Hz常用380/400/415V，60Hz常用380/400/440V，下单前确认现场电源

*不能做的事：

• 以为买回去就能用——需要接冷却水

• 单泵规格当双泵用——抽速不足

• 不配油雾过滤器——油雾污染车间（标配已有，但要注意定期更换滤芯）

七、供货与服务保障

• 授权渠道：深圳京都玉崎 — ULVAC爱发科授权经销商

• 发货地：深圳仓 / 上海仓 直发

• 供货周期：YM-VS系列 订货3~4周

• 配套一站式采购：ULVAC真空泵油、油雾过滤器滤芯、KF/ISO-K法兰管路、冷却水系统配件

• 技术支持：免费提供抽速计算、单/双泵选型建议、安装指导

八、落地适配全场景

• 真空镀膜：蒸发镀膜、溅射镀膜、离子镀、光学镀膜

• 真空热处理：真空热处理炉、烧结炉

• 半导体制造：半导体制造设备辅助排气

• 家电/照明：节能灯、背光源排气设备

九、结尾转化

罗茨泵机组选型怕单双泵分不清、怕现货等不及？

ULVAC YM-VS-601A / 602A / 1201A / 1202A，深圳京都玉崎订货直发，配套真空泵油及滤芯同步供应，工程师可协助出具《YM-VS系列选型确认表》。

立即私信或留言，发送您的工艺类型 + 腔体容积 + 是否需要双泵冗余，我们免费出具选型建议！