日本爱发科ULVACYM-RL-301A罗茨泵机组 深圳京都玉崎现货

日本爱发科ULVACYM-RL-301A罗茨泵机组 深圳京都玉崎现货

日本爱发科ULVACYM-RL-301A罗茨泵机组 深圳京都玉崎现货

单晶炉/刻蚀工艺*无油怎么选？ULVAC YM-RL-301A ，全干式无油罗茨机组，零油污染零风险

开篇：油泵污染一批产品，损失够买十台干泵

单晶炉拉晶、等离子刻蚀、气体回收——这些工艺对油污染的容忍度是零。腔体内混入微量油蒸气，单晶硅棒直接报废、刻蚀均匀性崩溃、回收气体纯度不达标。很多工程师想用干式泵，但市面上的干式机组要么抽速不够、要么耐腐蚀性差、要么价格贵得离谱。

更隐蔽的坑：YM-RL系列是多级罗茨式干泵+罗茨泵组合，完全无油。但很多人分不清它和YM-VS/VD的区别——VS/VD配的是油旋片前级泵，有油；RL配的是多级罗茨干式泵，完全无油。选型时没搞清楚这个区别，买了VS系列回去抽单晶炉，结果油污染导致整炉硅棒报废，损失远大于泵的差价。

ULVAC YM-RL-301A / 302A / 601A / 602A / 1201A 全干式罗茨泵机组，由多级罗茨式干泵、罗茨泵、安装支架、接管、控制箱、消音器等组合而成。核心优势是完全无油、干燥、清洁，是半导体、光伏、刻蚀等对油污染零容忍场景的*选择。

五款型号核心参数对比

注1：极限压力为皮拉尼真空计测定值。
注2：301A/302A/602A 具体抽速及功率参数请咨询。

一、YM-RL-301A / 302A：小型全干式机组，研发/小批量生产标配

YM-RL-301A 和 YM-RL-302A 是YM-RL系列的小型全干式机组。适合小腔体、对油污染零容忍的场景——研发实验室、小批量单晶炉、等离子刻蚀实验装置。

• 多级罗茨干式泵作为前级，完全无油运行

• 标配消音器，低噪音、低振动

• 低温领域实现均热化

• 优良的耐腐蚀性

适合谁：研发实验室、小批量单晶炉、等离子刻蚀实验装置、气体回收实验系统。

二、YM-RL-601A：中型全干式主力，单晶炉/刻蚀标准配置

YM-RL-601A 抽速 653 L/min（50Hz）/ 701 L/min（60Hz） ，极限压力 0.67 Pa。适合中等规模、对油污染零容忍的生产场景——单晶炉、多晶炉、等离子刻蚀设备。

• 电机功率 2.2 kW

• 多级罗茨干式泵作为前级，完全无油、干燥、清洁

• 低温领域实现均热化

• 大抽速，可缩短排气时间

• 优良的耐腐蚀性，适应腐蚀性工艺气体

• 标配消音器，低噪音、低振动

适合谁：单晶炉、多晶炉、等离子刻蚀设备、真空钎焊炉、真空烧结炉。

三、YM-RL-602A：中型双泵并联，高可靠性/大抽速

YM-RL-602A 是YM-RL-601A的双泵并联版本。两台多级罗茨干式泵并联作为前级，抽速更大，且一台泵故障时另一台可继续工作，适合不能停机的连续生产线。

• 双泵并联设计，抽速翻倍、高可靠性

• 完全无油、干燥、清洁

• 标配消音器

适合谁：连续式单晶炉生产线、连续等离子刻蚀产线、不能停机的高可靠性场景。

四、YM-RL-1201A：大型全干式机组，*抽速

YM-RL-1201A 是YM-RL系列*号，抽速 1012 L/min（50Hz）/ 1051 L/min（60Hz） ，极限压力 0.67 Pa。适合大型单晶炉、大型等离子刻蚀设备、半导体制造等大抽速、零油污染场景。

• 电机功率 3.7 kW

• 多级罗茨干式泵作为前级，完全无油、干燥、清洁

• 低温领域实现均热化

• 大抽速，显著缩短排气时间

• 优良的耐腐蚀性

• 标配消音器，低噪音、低振动

适合谁：大型单晶炉、大型多晶炉、大型等离子刻蚀设备、半导体制造设备、气体回收系统。

五、YM-RL系列共同优势：全干式无油 + 耐腐蚀 + 低噪音

YM-RL系列是ULVAC罗茨泵机组产品线中*全干式无油的子系列。四大核心优势：

• 完全无油、干燥、清洁：气体接触区域零油污染，是单晶炉、刻蚀等对油污染零容忍场景的*选择

• 低温领域均热化：在低温领域实现均匀温度分布，提高流量、缩短排气时间

• 优良的耐腐蚀性：标准零部件采用特殊表面处理，适应腐蚀性工艺气体

• 低噪音、低振动：标配消音器，运行安静稳定

六、工程师选型避坑：YM-RL系列怎么选

选型三步法：

1. 先确认是否需要RL系列：工艺*不允许油污染（单晶炉、多晶炉、等离子刻蚀、气体回收）→ YM-RL系列（全干式无油）；油润滑可接受 → YM-VS或YM-VD系列

2. 算抽速：小腔体/研发 → YM-RL-301A/302A；中型生产 → YM-RL-601A 或 YM-RL-602A；大型产线 → YM-RL-1201A

3. 定单双泵：普通场景 → 单泵规格（-301A/-601A/-1201A）；不能停机/抽速要求更高 → 双泵并联规格（-302A/-602A）

*不能做的事：

• 把RL系列当VS/VD系列用——RL是全干式无油，VS/VD是油润滑前级，完全不同的产品

• 以为RL系列不需要维护——干式泵也需要定期保养

• 抽不含腐蚀性的清洁气体时选RL——不高，普通干式泵即可

七、供货与服务保障

• 授权渠道：深圳京都玉崎 — ULVAC爱发科授权经销商

• 发货地：深圳仓 / 上海仓 直发

• 供货周期：YM-RL系列 订货3~4周

• 配套一站式采购：消音器滤芯、KF/ISO-K法兰管路、冷却水系统配件、氮气流量控制系统

• 技术支持：免费提供RL/VS/VD选型对比建议、抽速计算、安装指导

八、落地适配全场景

• 半导体/光伏：单晶炉、多晶炉

• 刻蚀工艺：等离子刻蚀

• 真空镀膜：镀膜设备

• 真空热处理：真空钎焊炉、真空烧结炉

• 真空干燥：冷冻干燥

• 气体回收：气体回收系统

九、结尾转化

单晶炉/刻蚀工艺怕油污染、怕选错有油无油？

ULVAC YM-RL-301A / 302A / 601A / 602A / 1201A 全干式罗茨泵机组，深圳京都玉崎订货直发，完全无油零污染，工程师可协助出具《YM-RL系列选型确认表》。

立即私信或留言，发送您的工艺类型（单晶炉/刻蚀/气体回收）+ 腔体容积 + 洁净度要求，我们免费出具选型建议，助您一次选对！