原装日本KOFLOC小岛EX-550C 质量流量控制器

原装日本KOFLOC小岛EX-550C 质量流量控制器

    EX-550 是日本 KOFLOC（科赋乐）推出的一款全金属、数字式质量流量控制器（MFC）。它专为对精度和耐腐蚀性有高要求的半导体、FPD（平板显示器）及太阳能电池制造等工艺而设计。

规格

特点

• 高精度与耐腐蚀：作为全金属MFC，其精度高达±1.0% S.P.，且极低的泄漏率（1×10⁻¹¹ Pa·m³/s）使其非常适合处理腐蚀性气体。

• 高速稳定响应：配备高速绕线传感器，响应速度在1秒以内，并具有*的零点稳定性。

• 灵活的通讯与供电：同时提供模拟信号（0-5V/4-20mA） 和数字通信（RS485） 接口。电源可选择±15 VDC或+24 VDC单电源，提高了系统集成的灵活性。

• 便捷的气体切换：通过主机上的旋转开关，可以轻松切换使用已登记的不同气体类型。

• 国际标准：符合RoHS和CE标准。