FLUORO 福乐 Z 系列直式固定接头防酸真空吸笔专为半导体 4 寸硅晶圆湿法腐蚀、酸碱浸泡、药液清洗等强化学工况开发,整体采用耐腐蚀铁氟龙基材,搭配直式固定接头结构与三类差异化吸笔头,兼顾耐化学品性能、操作稳定性与防静电洁净标准,是固定工位 4 寸晶片转运的拾取工具。
产品通体采用铁氟龙打造笔身,铁氟龙具备***化学惰性,能够抵御各类强酸、强碱、有机蚀刻药液侵蚀,长期接触化学溶剂不会出现溶胀、开裂、离子析出等问题,可避免杂质污染晶圆表面,适配百级化学无尘车间严苛管控要求。产品采用直式固定接头设计,接头笔直无活动转轴,结构紧实稳固,流水线长时间连续作业不会松动偏移,吸附承载稳定,适合设备固定工位、槽边***取放等不需要多角度旋转的作业场景,操作上手简单,长时间作业不易疲劳。
本系列提供三种不同特性吸笔头材质,适配多样化制程需求。PCTFE 吸头耐化学性能均衡,采购成本适中,适配常规酸碱清洗工序;PEEK 吸头兼具防静电、耐高温、低析出优势,适合光刻前精密转运环节;Vespel (R) 高性能吸头耐磨、热稳定性优异,适配高频次不间断连续生产,满足高端芯片制造产线使用标准。阀门分为 NC 常闭、NO 常开、NO+SW 带手动开关常开三种,F001-Z、F002-Z、F003-Z 三款笔身分别对应不同阀门类型,可匹配各类真空供气设备控制逻辑,适配不同产线供气方案。
产品采用分体式设计,笔身与吸笔头支持分开独立订购,无需成套整体采购,吸头磨损后可单独更换,大幅降低企业长期耗材采购成本;同型号笔身可通用 06 系列全部吸头,配件互换性强,企业库存备货管理便捷。
该系列 FLUORO 福乐防酸真空吸笔由京都玉崎自有仓储现货供应,并非代理分销货源,全规格型号常备库存,可快速承接半导体湿法产线批量采购订单。我们可结合客户使用药液种类、产线工位布局、真空设备参数提供*选型方案,支持寄送样品在酸碱工况下实测耐腐蚀性。产品无外露金属构件,不存在生锈、金属离子污染晶片的隐患,长期使用性能稳定,有效减少酸碱制程中晶片划伤、腐蚀报废等不良,提升半导体车间整体生产良率。
| 产品型号 | 阀门种类 | 吸笔头材质 | 配套笔身型号 | 配套吸笔头型号 |
|---|---|---|---|---|
| F001-Z-06-3F | NC(常闭) | PCTFE | F001-Z(附带 110 配件) | 06-3F |
| F001-Z-06-PK | NC(常闭) | PEEK | F001-Z(附带 110 配件) | 06-PK |
| F001-Z-06-VP | NC(常闭) | Vespel(R) | F001-Z(附带 110 配件) | 06-VP |
| F002-Z-06-3F | NO(常开) | PCTFE | F002-Z(附带 110 配件) | 06-3F |
| F002-Z-06-PK | NO(常开) | PEEK | F002-Z(附带 110 配件) | 06-PK |
| F002-Z-06-VP | NO(常开) | Vespel(R) | F002-Z(附带 110 配件) | 06-VP |
| F003-Z-06-3F | NO+SW(带开关常开) | PCTFE | F003-Z(附带 110 配件) | 06-3F |
| F003-Z-06-PK | NO+SW(带开关常开) | PEEK | F003-Z(附带 110 配件) | 06-PK |
| F003-Z-06-VP | NO+SW(带开关常开) | Vespel(R) | F003-Z(附带 110 配件) | 06-VP |
