透射电子显微镜基础知识

来源:深圳市京都玉崎电子有限公司
发布时间:2026-07-15 19:31:24

什么是透射电子显微镜?

透射电子显微镜是一种测量设备,可以观察样品的内部结构。

这是一种电子显微镜,通过照射电子束照射到薄样品上,以探测穿透样品的透射和散射电子,从而观察样品内部。 由于它能够以光学显微镜无法观测的高倍率观察样品内部结构,因此被广泛应用于材料工程和生物化学等多个领域。 (英文:透射电子显微镜(TEM))

透射电子显微镜的应用

透射电子显微镜用于以数百到数百万倍放大率观察样品的内部结构。

通过对数十微米级全细胞的观察,数值为Å(1Å,埃)= 10-10m) 原子序列结构可观察到原子序列的层级。 它能够进行半导体和陶瓷等多种材料的结构分析,以及细胞和细菌等生物样品的结构分析,从而实现对各种物体的观察。 通过调整透镜系统,可以观察电子衍射图样,通过附加额外的光谱仪,可以进行元素分析和状态分析,从而获取各种类型的信息。 与能够一次性获取全部图像数据的扫描透射电子显微镜(STEM)不同,它们有时用于观察结构随时间的变化。

透射电子显微镜原理

透射电子显微镜的原理是将加速电子照射到样品上,并通过检测穿过样品的电子来观察内部状态。 虽然其结构类似于光学显微镜,但所用光源是电子束而非可见光,因此样品厚度必须足够薄以让电子通过(约100纳米或更小)。 通过样品的电子密度差异表现为对比。

照射到样品中的电子波长越短(能量越大),分辨率越高。 当电子在300kV的加速电压下被加速时,波长为0.00197纳米,远短于光学显微镜中使用的可见光波长(约380纳米~780纳米),允许高分辨率(~0.1纳米)观测。 加速电压
越高,波长越短,分辨率越高,但这也会增加样品损伤,因此需要适当调整。 分辨率上限约为50 pm,这与光学系统像差等因素有关。


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