山金货存 JEOL日本电子 JST-10F 电子枪电源
来源：山金工业(深圳)有限公司
发布时间：2026-09-16 14:31:42
这是用于电子束沉积的高压电源，与偏转式电子枪配合使用。
特征
JST-F系列拥有非常多的*安装案例，并具有*的稳定性。
相关产品链接
BS-72050ICE
BS-64010SCT
EBG-102工具
EBG-203工具
规格和选项
模型 JST-10F JST-16F
输出 *输出 10千瓦 16千瓦
可变加速电压 -4kV 至 -10kV
发射电流 0-1A 0–1.6A
灯丝电流 *电流 40A
加速电压纹波含量 5%或更低（*输出时）
偏转线圈输出 0-2A
扫描线圈输出 *频率 500Hz (*)，*输出 8Aap-p，±2 A 直流
互锁 外观：3分，内饰：5分
外部信号 输入类型：16种，输出类型：9种
输入功率（50/60Hz） 三相 200V±10%，15kVA 三相 200V±10%，25kVA
外部尺寸 电源单元 570毫米（宽）×760毫米（深）×1545毫米（高）
控制面板 481毫米（宽）x 300毫米（深）x 150毫米（高）
大量的 约390公斤 约450公斤
地面 A类接地（接地电阻Ω或更低）
特征
JST-F系列拥有非常多的*安装案例，并具有*的稳定性。
相关产品链接
BS-72050ICE
BS-64010SCT
EBG-102工具
EBG-203工具
规格和选项
模型 JST-10F JST-16F
输出 *输出 10千瓦 16千瓦
可变加速电压 -4kV 至 -10kV
发射电流 0-1A 0–1.6A
灯丝电流 *电流 40A
加速电压纹波含量 5%或更低（*输出时）
偏转线圈输出 0-2A
扫描线圈输出 *频率 500Hz (*)，*输出 8Aap-p，±2 A 直流
互锁 外观：3分，内饰：5分
外部信号 输入类型：16种，输出类型：9种
输入功率（50/60Hz） 三相 200V±10%，15kVA 三相 200V±10%，25kVA
外部尺寸 电源单元 570毫米（宽）×760毫米（深）×1545毫米（高）
控制面板 481毫米（宽）x 300毫米（深）x 150毫米（高）
大量的 约390公斤 约450公斤
地面 A类接地（接地电阻Ω或更低）
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所属分类 ：JEOL 日本电子
- 发布时间 ： 2026-07-03
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- 详细介绍
规格和选项
| 模型 | JST-10F | JST-16F | |
|---|---|---|---|
| 输出 | *输出 | 10千瓦 | 16千瓦 |
| 可变加速电压 | -4kV 至 -10kV | ||
| 发射电流 | 0-1A | 0–1.6A | |
| 灯丝电流 | *电流 40A | ||
| 加速电压纹波含量 | 5%或更低（*输出时） | ||
| 偏转线圈输出 | 0-2A | ||
| 扫描线圈输出 | *频率 500Hz (*)，*输出 8Aap-p，±2 A 直流 | ||
| 互锁 | 外观：3分，内饰：5分 | ||
| 外部信号 | 输入类型：16种，输出类型：9种 | ||
| 输入功率（50/60Hz） | 三相 200V±10%，15kVA | 三相 200V±10%，25kVA | |
| 外部尺寸 | 电源单元 | 570毫米（宽）×760毫米（深）×1545毫米（高） | |
| 控制面板 | 481毫米（宽）x 300毫米（深）x 150毫米（高） | ||
| 大量的 | 约390公斤 | 约450公斤 | |
| 地面 | A类接地（接地电阻Ω或更低） | ||
依恋
ST-AS10F / ST-AS10G 放电抑制装置
该装置可抑制电子束沉积过程中的异常放电。它能抑制放电噪声，防止沉积中断。ST-AS10F 采用两级放电抑制电路，而 ST-AS10G 采用单级放电抑制电路。
ST-AS10G
| 模型 | ST-AS10F | ST-AS10G |
|---|---|---|
| 适用的加速电压和电流 | -4kV 至 -10kV，1.6A 或更小 | |
| 工作压力 | 6 × 10⁻² Pa 或更低 | |
| 电子束中断时间 | 0.5毫秒或更短* | 0.1毫秒或更短 |
| 恢复期电压过冲加速 | 误差在 20% 以内 / 误差在 3 毫秒以内 | |
| 放电期间整流波电流增大 | 1A，100μS 或更小 | |
-
运行期间的停机时间直至第二阶段
ST-203电子枪同时使用装置
当使用单个电源同时驱动两支电子枪时，会使用该系统。它需要两个控制面板，每个面板于一支特定的电子枪。
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虽然可以使用不同类型的电子枪，但某些电子枪组合可能会对加速电压和其他参数的范围造成限制。
ST-EXTSIG 外部信号控制
它可以集成到控制面板中，除了九个标准外部输出信号外，还可以向外部输出各种信号，例如发射电流确认信号。
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温馨提示：为规避购买风险，建议您在购买产品前务必确认供应商资质及产品质量。
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