Micro Epsilon传感器
来源：上海蕴匠贸易有限公司
发布时间：2026-01-29 09:44:42
移传感器、Micro Epsilon测距传感器、Micro Epsilon电涡流传感器、
Micro Epsilon电容传感器、Micro Epsilon激光传感器、Micro Epsilon
电感传感器、Micro Epsilon磁感应传感器、Micro Epsilon拉绳传感器、
Micro Epsilon转速传感器等全系列产品。
Micro Epsilon致力于提升产品精度，从而推动创新。Micro Epsilon位移
传感器分辨率可达亚纳米级，即小于百万分毫米。例如，这些传感器
被应用于半导体光刻机的真空环境中。
为了在量产产品中实现如此高性能，我们依托集团内部的协作网络。咨询
、产品开发、应用、电子、光学、图像处理、微机电一体化、模拟、软件
、系统集成、生产与质量——所有环节均由单一来源提供。
Micro Epsilon位移传感器基于涡流原理，专为非接触式测量位移、距离
、位置、振荡及振动而设计。它们特别适用于要求高精度的恶劣工业环境
（压力、污垢、温度）。Micro Epsilon位移传感器可在要求亚微米精度
的场合提供极其准的测量。
Micro Epsilon电容传感器设计用于位移、距离和位置的非接触式测量，
以及厚度测量。电容位移传感器信号稳定，分辨率高，因此广泛应用于实
验室和工业测量领域。例如，在生产控制中，电容传感器可测量薄膜厚度
和粘合剂的应用。安装在机器中，它们可以监测位移和工具位置。
Micro Epsilon激光传感器在工业激光位移测量领域树立了里程碑。无论
是进行位移、距离还是厚度测量，德国Micro Epsilon激光传感器都被公
认为同类产品中的佼佼者。这些传感器广泛应用于工厂自动化、电子生产
、机器人技术以及车辆制造等领域的测量和监控任务中。
Micro Epsilon光谱共焦传感器产品系列代表了光谱共焦测量技术中的高
精度和动态性能。这些传感器能够针对透明物体的距离和厚度进行高精度
、快速测量。此外，创新的控制器和传感器技术确保了在所有表面上均具
备高信号稳定性。高性能传感器产品组合能够满足广泛的测量任务需求，
例如在平板玻璃生产、测量设备以及半导体设备制造等领域。
Micro Epsilon创*白光干涉仪在高精度距离和厚度测量领域树立了标
杆。这些干涉仪能够以亚纳米级分辨率实现稳定的测量结果，同时提供相
对较大的测量范围和偏移距离。这些干涉仪适用于透明物体和晶圆的距离
与厚度测量。
Micro Epsilon现代化高性能红外测温仪可在无接触的情况下高精度测
量-50°C 至+1100°C 的表面温度。专为金属设计的型号甚至能检测高达
+1,600°C 的温度范围。这些紧凑且坚固的传感器几乎应用于所有行业，
如工厂自动化、研发、维护、过程监控和机械制造等领域。
Micro Epsilon系列的红外测温仪主要优势不仅在于其能够用于关键和难
以接近的位置，还包括高速测量、适合在线监测以及强大的工艺适应性。
除此以外，Micro Epsilon红外测温仪还具备好的温度稳定性和信号质量
，可实现可靠的测量。
Micro Epsilon光电光纤传感器具有可变开关量输出，适用于自动化领域
。CLS1000 用于可靠的位置监测以及位置和存在检测。光纤传感器由 CFS
传感器和 CLS1000 控制器组成。光纤传感器的宽检测和操作范围高达
2000 毫米，是远距离元件检测的理想之选。由于CFS传感器设计小巧，
CLS1000 光电光纤传感器系列尤其适用于狭窄的安装空间。
Micro Epsilon接口和信号处理单元扩展了Micro Epsilon传感器的应用领
域。接口模块用于将传感器信号转换为数字或总线兼容接口。这可以为众
多传感器提供 USB、RS422、Ethernet/IP、Profinet 和 EtherCAT 等接
口。信号处理单元还可用于采集多个传感器信号，并对其进行计算和输出
，例如在平面度测量或厚度测量中不可缺少。
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温馨提示：为规避购买风险，建议您在购买产品前务必确认供应商资质及产品质量。
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