美国热电赛默飞146i型多组分气体校准仪配件8094/8095/8096质量流量计

146i 型8094 / 8095 / 8096 质量流量计（MFC）

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一、型号与量程对应（原厂定义）

• SLPM = L/min；SCCM = mL/min
• 8094 负责大流量稀释，8095/8096 负责小流量配比。

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二、核心技术参数（146i 原厂规格）

• 测量原理：热式质量流量（无温压补偿，直接测质量流量）
• 线性度：±0.5% 满量程（FS）
• 重复性：±2% 读数或 ±1% FS（取优）（20–* FS）
• 响应时间：≤60 s（达 99% 目标值）
• 工作压力：入口 20 psig（由 102604-00 稳压）
• 工作温度：0–45°C
• 材质：316L 不锈钢气路、Viton 密封（耐 O₃/SO₂/NOₓ）
• 电气接口：15 针 D-sub（数字通讯 + 控制）
• 气路接口：1/8" 卡套（146i 原装）

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三、功能与作用

1. 8094（稀释气 MFC）
   • 控制零空气流量（0–10 SLPM），作为稀释基底。
   • 决定流量与稀释比，直接影响 NO/SO₂/O₃ 等浓度范围。
2. 8095（标气 MFC）
   • 控制钢瓶标气流量（0–100 SCCM）。
   • 与 8094 配合，实现高精度比例稀释（如 100 ppm → 0–1 ppm）。
3. 8096（渗透气 MFC，可选）
   • 控制渗透炉载气（0–200 SCCM），带出 SO₂/NO₂ 等渗透管气体。
   • 用于低浓度校准（ppb 级），替代部分钢瓶标气。

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四、常见故障与互换

• 故障现象：流量漂移、浓度不准、响应慢、报错 “Flow Fault”
• 常见原因：
  • 传感器污染（油污 / 粉尘）
  • 密封老化漏气
  • 校准漂移（需年度校准）
• 互换性：
  • 8094/8095/8096 不可互换（量程与气路不同）
  • 必须按原型号更换，更换后需重新校准流量与浓度。

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五、关联备件（更换时建议同步检查）

• 102604-00：入口压力调节器（稳压 20 psig）
• 103075-00：反向压力调节器（背压控制）
• 过滤器：气路入口 2μm 过滤器（防污染）