美国热电赛默飞146i型多组分气体校准仪配件 8092/8093质量流量计

146i 型8094/8095/8096 补充：8092 / 8093 质量流量计（MFC）

一、型号与量程（原厂定义）

• SLPM：标准升 / 分；SCCM：标准毫升 / 分
• 8092 负责小流量稀释，8093 负责微量标气配比。

二、核心技术参数（同平台通用指标）

• 测量原理：热式质量流量（直接测质量流量，无需温压补偿）
• 线性度：±0.5% 满量程（FS）
• 重复性：±2% 读数或 ±1% FS（取优）（20–* FS）
• 响应时间：≤60 s（达 99% 目标值）
• 工作压力：入口 20 psig（由 102604-00 稳压）
• 工作温度：0–45°C
• 材质：316L 不锈钢气路、Viton 密封（耐 O₃/SO₂/NOₓ）
• 电气接口：15 针 D-sub（数字通讯 + 控制）
• 气路接口：1/8" 卡套（146i 原装）

三、功能与定位

1. 8092（稀释气 MFC，0–5 SLPM）
   • 用于小流量零空气稀释（早期低配 / 特殊配置机型）。
   • 适配低流量需求场景（如 5 SLPM 输出），浓度范围更窄、精度更高。
2. 8093（标气 MFC，0–50 SCCM）
   • 控制微量钢瓶标气（0–50 SCCM），适合低浓度（ppb 级）校准。
   • 与 8092 配合，实现高稀释比、低浓度输出（如 100 ppm → 0–50 ppb）。

四、与后期型号（8094/8095）的区别

• 量程不同：
  • 8092：5 SLPM → 8094：10 SLPM（大流量稀释）
  • 8093：50 SCCM → 8095：100 SCCM（宽量程标气）
• 硬件不通用：电气接口、校准曲线、固件配置不同，不可直接替换。
• 适用机型：
  • 8092/8093：早期 146i（2010 年前）、定制低配版
  • 8094/8095/8096：主流量产版（2010 年后）

五、替换建议

• 若为早期机型故障：优先找原装 8092/8093 二手 / 拆机件，成本低、即插即用。
• 若长期使用 / 需升级：可整组更换为 8094+8095（需同步更新固件、校准气路），量程更广、备件更易采购。