MFC-100ML 质量流量控制器

核心参数与规格

核心优势

1. *控量，适配微量场景

   专为 0–100 mL/min 小量程设计，对微量气体（如标气稀释、微量进样）控制精度高，偏差小，满足高精度流程需求。
2. 稳定抗干扰，长期可靠

   采用温度 / 压力实时补偿技术，温漂＜0.05% F.S/℃，环境温度、压力波动对流量影响小，长期运行稳定性强。
3. 快速响应，集成灵活

   响应时间短（＜2 秒），适合需要频繁调节流量的动态过程；支持模拟 / 数字双信号输出，可直接接入 PLC、工控机或自动化系统。
4. 结构紧凑，维护简便

   体积小、安装方便，无运动部件，免维护；316L 不锈钢湿区材质，耐腐蚀，适用于多种气体（如 N₂、O₂、Ar、CO₂ 等）。

典型应用

• 环保监测：CEMS 系统标气配气、样气*控制
• 实验室分析：气相色谱、质谱仪载气 / 吹扫气控制
• 生物制药：发酵罐微量气体（O₂/CO₂）调节
• 半导体 / 材料：小型反应炉、镀膜设备工艺气控制

选型与使用提示

• 确认气体种类：需根据控制气体（如空气、氮气、特种气体）选择对应版本，混合气体需提前说明。
• 注意压力匹配：工作压差 0.1–0.4 MPa，需确保前端供气压力稳定，避免影响控制精度。
• 安装要求：建议垂直安装，保证气路清洁，前端加装过滤器（≥0.1 μm），防止杂质影响传感器寿命。