SFC102-03日本SMC洁净气体过滤器

SFC102-03日本SMC洁净气体过滤器

常用产品

ST-307 B-350

73-1356T-A2-N

EFG551H401MO 24DC

DBS36E-S3AM02500

1900-C

300AA00086A

750-431

R431003040

2TLA010061R0000

193-T1AB63

CJ2B16-20AZ

750-960

787-732

ARO 637434

KS-N-E-Z-B04C-M-V-530

巴士德 B2S-H48SS

IME18-12BPSZW2S

1025U08 04

D665N

SR24A-5

技术规格

SFC100 系列 洁净气体过滤器 一次性使用式/多层盘式

卡盘式，可进行元件替换

　(SFA100·200·300，SFB100)

小型、一次性使用型，用于半导体工业

　(SFB300，SFC100)

字段描述 字段取值 取值描述

机种形式 10 额定流量 240L/min(ANR)

连接方法 2 TSJ

连接口径 03 Rc、TSJ、URJ:3/8

其他特性

字段描述 取值描述

使用流体 空气 / 氮气

过滤精度 0.01 μm

环境温度及使用流体温度 5～120℃

*使用压力 [MPa] 0.99 MPa

*低使用圧力 [MPa] -0.0013 MPa

*处理空气量 240 L/min(ANR)

壳、端盖材质:铝合金

不同滤芯的过滤度精度(1,2,5,10,20,40,70,100ur

对应洁净气体滤芯过滤精度120um以外规格。

型号:SFB100-02X8

规格

使用流体

使用压力

*使用温度

滤芯耐压差

滤芯逆压差

过滤精度

连接

过滤面积

滤芯型号

质量

壳、端盖

主要材质

密封

滤材

外形尺寸与标准同详细参照P.1017注)根据本公司测定条件。

空气

MAX.0.99MPa

80°C

MAX.0.5MPa

MAX.0.07MPa

0.01um(99.99%捕集粒径)

Rc1/4

10cm2

ED301S-X10V

0.06kg

A2017(白色氧化)

氟橡胶(FKM)

PTFE膜

型号:SFB200-02-S002-X40

公称过滤精度

记号 公称过滤精度um1额定流量L/min(ANR)=2)

注1)公称过滤精度是根据不同材料命名的。

注2)入口压力0.7M时的*流量。

其他规格，外形尺寸相关，与标准同。

详细参照P.1015.1017。

更换滤芯型号

型号:ES001S-002NX25

SFC102-03日本SMC洁净气体过滤器