日本MIYUKI美幸辉 成套数字定点电动真空蝶阀 BAZ-I40+MS-PC
日本MIYUKI美幸辉 成套数字定点电动真空蝶阀 BAZ-I40+MS-PC
MIYUKI 美幸辉 BAZ-I40+MS-PC 数字定点成套电动真空蝶阀
| 型号组合 | 控制方式 | 控制器 | 适用场景 |
|---|---|---|---|
| BAZ+MS-PC | 00~99 数字定点档位 | MS-PC | 工艺重复性高、分段阶梯进气(镀膜 / 锂电主流) |
| BAR+MS-VP | 0~10V 模拟连续调压 | MS-VP | 连续无级微调稳压、动态压力闭环控制 |
光学镀膜 / 真空蒸镀机:腔体阶梯缓慢进气、分段升压,防止膜层针孔开裂
锂电真空脱泡 / 注液设备:分段破真空,避免电解液飞溅
半导体、PVD/CVD 制程:工艺腔体精密稳压、惰性气体*配比进气
科研真空炉、检漏设备:高精度梯度泄压 / 进气控制
电机直驱无齿轮间隙,无反向窜动,微小开度气流稳定、低压稳压优异
阀内无外露金属摩擦件,低发尘、洁净度高,适配半导体 / 镀膜无尘制程
全行程 90° 均分00~99 共 100 档固定开度(00 全关、99 全开),档位机械锁止无漂移
任意方位安装,启闭静音,小开度进气线性均匀
开启规范控制器MS-PC通过定位打开规格控制器 从完全闭合到完全开启至100度的击穿,支持高层系统的输入输出操作,并在停电时通过电磁制动保持位置
概述
■ 这是一个开启控制系统,将MS-PC控制器与蝶阀BAZ系列或门阀GAZ系列结合在一起。
■ 气门开口均匀分布为100个部件,贯穿传动轴的工作范围内。
■ 可以通过面板开关手动操作,更高级别系统也可以实现自动操作。
■ 该阀门既可用于可变导导,也可用于全闭合排气管。
地理位置
| 控制器型号 | MS-PC |
|---|---|
| 适用的开口规范阀门类型 | 巴兹加兹 |
| 面板显示 | 4个LED灯(准备/移动/开/关闭) |
| 面板操作 | 电平设置开关(00~99),移动按钮,打开按钮 |
| 外部输入输出 | 开门度规范(bit1, 2, 4, 8, 16, 32, 64, 128), MOVE, OPEN |
| 外部输入输出输入/输出 | 准备,移动,打开,关闭 |
| 输入电源 | 电压:DC24V±5% 功耗:*95W |
| 参数重写*1 | 数据设置软件 MEXE02(东方马达) |
| 尺寸(W×D×H) | 110毫米×130毫米×141毫米 |
| 质量 | 1公斤 |
| 配件 | 支架 |
| 有线电视(单独出售)*2 |
电机电缆 |
※1:在执行高级自动驾驶时所必需。 请从东方汽车有限公司*下载MEXE02。
※2请选择3米、5米、7米、10米、15米或20米的电缆长度。
