日本 FLUORO 福乐 FV 系列 无油隔膜真空泵（真空吸笔配套・无尘室）

供货渠道：玉崎科学仪器（深圳）有限公司 原装现货供应

负责人：林经理 ¹⁵⁸¹⁵⁵⁵999⁸ 

公司网站：.wtturl.cn/?target=https%3A%2F%2Fwww.shashinkagaku.com&scene=im&aid=582478&lang=zh" target="_blank">www.shashinkagaku.com

地址：广东省深圳市龙华新区龙华街道 906 号电商集团 7 楼整层

产品概述

核心产品特点

1. 无油隔膜结构：完全无润滑油，无油气挥发污染晶圆，适合半导体洁净工位；电磁驱动隔膜，磨损极低，理论耐久＞9000 小时，支持 24h 连续运行
2. HEPA 双重过滤（FV‑30‑240 / FV‑60‑240 / FV‑XP / FV‑W）：进气、出气双端过滤，透明观察窗口，不用拆机即可判断滤芯更换周期，防止泵体碎屑反向污染工件。
3. 防静电壳体：导电尼龙机身，可接地泄放静电，避免 ESD 损伤芯片器件。
4. 低噪音封闭式腔体，体积小巧桌面摆放，也可嵌入设备内部；功耗低，长期使用省电。
5. 管路兼容：支持 Φ3×5、Φ4×6 真空软管，出厂标配 Φ3×5 软管。
6. 电压版本‑240：AC220‑240V，国内直接市电使用；‑110 为 110V 日规版本。

主力型号规格参数（国内 220V 版本）

说明：FV‑10 为入门微型泵，无 HEPA，仅适合小芯片小件，半导体晶圆工位较少选用。

各型号选型指引

1. FV‑30‑240：小负压，适配 2‑6 英寸小尺寸硅片，单支吸笔，预算有限实验室。
2. FV‑60‑240（市面主流）：8 英寸晶圆通用，负压充足，绝大多数 C/F 系列吸笔标准配套，实验室、中试产线用量*。
3. FV‑XP：高性能加强版，更高真空 + 更大流量，12 寸大晶圆，可同时驱动多支吸笔，高端研发、小量产线。
4. FV‑W 双向泵：专属匹配 C007‑XX、F007‑XX 吹气释放型吸笔；按下吸笔按键输出柔和正压吹气，解决薄片、湿法晶圆静电 / 液膜粘片难以脱落问题；不可用于普通 001/002/003 吸笔。

典型应用场景

• 半导体无尘工作台，配合 C 系列防静电吸笔：干态晶圆、芯片、蓝宝石基板拾取
• 配合 F 系列特氟龙吸笔：湿法清洗、腐蚀槽晶圆转运
• 实验室研发、探针台、贴膜、划片工位手动取片
• FV‑W 用于薄晶圆、薄片、微小晶粒防粘片卸料

配套耗材

1. HEPA 替换滤芯组件（定期消耗件）
2. Φ3×5 / Φ4×6 防静电真空软管
3. 接地套件，用于强化防静电性能

订货说明

选型提示：普通自锁吸笔（001/002/003）选用 FV‑30‑240 / FV‑60‑240 / FV‑XP；只有使用 007 吹气吸笔才选 FV‑W。