EV‑A10‑2S(EBARA 荏原 空冷式多段罗茨干真空泵)产品详情
EV‑A10‑2S 是日本荏原(EBARA)EV‑A10 系列里的单相 200V、风冷、无油干式真空泵 **,主打洁净真空、无需水冷、低能耗、高水蒸气处理能力,广泛用于半导体、制药、化工、实验室分析设备。
一、基本信息
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型号:EV‑A10‑2S(标准单相 200V 版本)
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厂商:日本 EBARA 荏原制作所
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类型:空冷式多段罗茨干式真空泵(无油)
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应用定位:中小腔体、洁净工艺、重复大气抽气场景
二、核心性能参数(2026 规格)
1. 真空性能
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*抽速:1,000 L/min(50Hz)
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大气压下抽速:800 L/min
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极限压力(气镇关):1.0 Pa
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极限压力(气镇开):2.0–3.0 Pa
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*水蒸气泵送能力:500 g/h(气镇开)
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进气压力范围:0~大气压
2. 电气与能耗
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电源:单相 200–240V / 50/60Hz(EV‑A10‑2S)
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允许电压波动:±10%
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电源容量:3.0 kVA
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极限压力下功率:约 1.1 kW(比同级低约 20%)
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电机:DC 电机 + 智能怠速 / 休眠
3. 机械与接口
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进气口:NW40(KF40)
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排气口:NW25(KF25)
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材质:泵体铸铁 + 合金钢,转子涂层耐腐蚀
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重量:约 72–75 kg
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尺寸(长 × 宽 × 高):约 560×320×450 mm
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脚轮:标配 4 个可锁定调平脚轮
4. 冷却与噪音
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冷却方式:空冷(无需冷却水)
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噪音:≤58 dB(A)(@1m)
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工作温度:环境 5–40℃
三、结构与特点
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无油干泵设计
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全程无油,无油污染、无返油,满足高洁净工艺(半导体、制药冻干、无菌隔离器)
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可处理轻微腐蚀性、含少量颗粒、易燃易爆气体
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多段罗茨 + 空冷
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多级罗茨转子,抽气平稳、极限真空高、耐水蒸气
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空冷结构,无需水冷 / 水管 / 冷却塔,安装极简、无漏水风险
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智能控制与保护
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内置故障诊断 / 过热 / 过流 / 相序保护
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支持远程启停 / 报警信号(可选)
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维护周期长:无需换油,仅定期清洁过滤器
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高水汽处理
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标配大气镇阀,500 g/h 水蒸气能力,适合冻干、蒸馏、溶剂脱除
四、典型应用
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半导体:Load‑lock、SEM、PVD、分析仪器
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制药:冻干机、无菌隔离器、真空干燥
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化工:小试 / 中试蒸馏、脱泡、溶剂回收
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实验室:电子显微镜、质谱、真空镀膜、手套箱
五、型号后缀说明(便于选型)
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EV‑A10‑2S:单相 200V,标准型(国内常用)
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EV‑A10‑3S:三相 200V
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EV‑A10‑1S:单相 100V(日本本土)
六、优势结
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✅ 无油洁净:*无油污染,适配高洁净工艺
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✅ 空冷免水:无需冷却水,安装简单、运维成本低
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✅ 高效节能:1.1kW 低功耗,比同类省 20%+
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✅ 高抽速 + 高真空:1000L/min、极限 1Pa,性能强劲
七、采购渠道
玉崎科学仪器(深圳)有限公司 原装现货供应
负责人:¹⁵⁸¹⁵⁵⁵⁰⁹⁹⁸ (林经理)
公司网站:www.shashinkagaku.com
地址:广东省深圳市龙华新区龙华街道906号电商集团7楼整层玉崎科学
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