双级油旋片高真空泵怎么选?ULVAC VDN301 / 401 / 602 / 902,抽速覆盖30~90 m³/h,镀膜/干燥/分析仪器主力前级
开篇:高真空前级选不对,抽速浪费钱、极限不够白费力
真空镀膜、真空干燥、冷冻干燥、分析仪器——双级油旋片泵是高真空系统的“主力前级”。抽速选小了,主泵带不动,极限压力下不去;选大了,成本高、能耗大、安装空间不够。
更隐蔽的坑:很多工程师以为双级泵极限压力都一样,实际气镇阀开启后极限压力会显著上升,含湿工艺必须开气镇阀防乳化,但开了之后真空度能不能满足工艺要求?很多人买回去才发现不行。还有,油品不通用,用错油直接影响极限压力和泵寿命。
ULVAC VDN301 / VDN401 / VDN602 / VDN902 爱发科双级油旋片真空泵,极限压力 6.7×10⁻¹ Pa(气镇关),抽速覆盖 30~90 m³/h(50Hz),全系标配气镇阀和强制供油系统,镀膜、干燥、分析仪器、真空成形等场景的标准配置。
| 项目 | VDN301 | VDN401 | VDN602 | VDN902 |
|---|---|---|---|---|
| 设计抽速 (50Hz) | 30 m³/h (500 L/min) | 40 m³/h (667 L/min) | 60 m³/h (1000 L/min) | 90 m³/h (1500 L/min) |
| 设计抽速 (60Hz) | 36 m³/h (600 L/min) | 48 m³/h (800 L/min) | 72 m³/h (1200 L/min) | — |
| 极限压力 (气镇关) | 6.7×10⁻¹ Pa | 6.7×10⁻¹ Pa | 6.7×10⁻¹ Pa | 6.7×10⁻¹ Pa |
| 极限压力 (气镇开) | 2.0 Pa | 2.0 Pa | 2.0 Pa | 2.0 Pa |
| 电机功率 (4P) | 1.1 kW | 1.5 kW | 2.2 kW | 3.7 kW |
| 电压/频率 | 200/220/380/400/415-50 200/220/380/400/460-60 | 同左 | 同左 | 同左 |
| 油量 | 1.0~2.5 L | 1.0~2.5 L | 2.5~4.0 L | 2.5~4.0 L |
| 使用油 | ULVOIL R-7 | ULVOIL R-7 | ULVOIL R-7 | ULVOIL R-7 |
| 吸气口径 | VG40 | VG40 | VG50 | VG50 |
| 排气口径 | VG40 | VG40 | VG40 | VG40 |
| 重量 | 59 kg | 61 kg | 89 kg | 104 kg |
数据来源:ULVAC VDN系列规格表
VDN301 是VDN系列*小号,抽速 30 m³/h(50Hz)/ 36 m³/h(60Hz)。适合小腔体、高真空要求的场景——质谱仪、检漏仪、电子显微镜的前级泵,或小型真空镀膜实验系统。
电机功率 1.1 kW(4P),能耗低
重量 59 kg
油量 1.0~2.5 L 可变
吸气口径 VG40,排气口径 VG40
强制供油系统,全压强范围稳定运行
低噪音设计,适合实验室环境
适合谁:质谱仪、检漏仪、电子显微镜、小型镀膜机、研发实验室。
VDN401 是VDN系列**型号,抽速 40 m³/h(50Hz)/ 48 m³/h(60Hz)。抽速适中,既能满足中小型真空镀膜机、真空干燥箱的前级需求,也适合作为罗茨泵机组的前级泵。
电机功率 1.5 kW(4P)
重量 61 kg
油量 1.0~2.5 L 可变
吸气口径 VG40
高能效 IE3 多电压电机,宽电压覆盖 200~460V
适合谁:光学镀膜机、真空干燥箱、冷冻干燥机、真空成形设备、罗茨泵前级。
VDN602 抽速 60 m³/h(50Hz)/ 72 m³/h(60Hz)。适合大腔体、高抽速需求——大型真空镀膜机、大型真空干燥设备的前级泵。
电机功率 2.2 kW(4P)
重量 89 kg
油量 2.5~4.0 L 可变,延长换油周期
吸气口径 VG50,比小号型号更大
通过 CE
适合谁:大型光学镀膜机、大型真空干燥机、真空热处理炉、真空铸造设备。
VDN902 是VDN系列*号,抽速 90 m³/h(50Hz)。适合大型工业真空设备——大型镀膜生产线、大型真空炉、半导体制造设备的前级泵。
电机功率 3.7 kW(4P)
重量 104 kg
油量 2.5~4.0 L 可变
吸气口径 VG50
适合谁:大型真空镀膜生产线、大型真空热处理炉、半导体制造设备、大型罗茨泵机组前级。
VDN系列采用双级旋片式机械结构,相比单级泵极限压力更低(6.7×10⁻¹ Pa)。全系标配三大核心优势:
强制供油系统:高吸气压强下也能稳定运转,大气压至真空全压强范围连续运行
气镇阀 (Gas Ballast):处理水蒸气时开启,防止机油乳化
可变油量设计:VDN301/401为1.0~2.5L,VDN602/902为2.5~4.0L,延长补油周期
低噪音设计:通过优化设计和精密加工实现低噪音运行。维护方便:油量确认、补油、换油在同一方向操作,泵体可在不拆进气管路的情况下拆卸。
高能效多电压电机(IE3):ULVAC研发,宽电压覆盖 200~240V / 380~460V,功耗极低。全系使用 ULVOIL R-7 真空泵油。
选型三步法:
算抽速:前级泵抽速 ≥ 主泵抽速 × 20%(扩散泵),或按ULVAC手册配比。小腔体/分析仪器选VDN301,中型设备选VDN401,大型设备选VDN602/902
看极限压力是否满足工艺:气镇关 6.7×10⁻¹ Pa,气镇开 2.0 Pa。含湿工艺必须开气镇阀,确认2.0 Pa是否满足工艺要求
看安装空间和电源:VDN301/401重约60kg,VDN902重104kg;全系宽电压,现场供电基本都兼容
绝不能做的事:
抽强腐蚀性气体、大量颗粒物(必须加装过滤器)
用错油品——VDN系列必须使用 ULVOIL R-7,用其他油品会导致极限压力上升、泵寿命缩短
含湿工艺不开气镇阀——机油乳化报废,维修成本远高于开阀运行
授权渠道:深圳京都玉崎 — ULVAC爱发科授权经销商
发货地:深圳仓 / 上海仓 直发
供货周期:VDN301 / 401 常用规格 现货;VDN602 / 902 订货 2~4 周
配套一站式采购:KF卡箍、中心支架、波纹管、真空电磁阀、ULVAC真空泵油 R-7、油雾过滤器、油回收装置
技术支持:免费提供抽速计算、前级管路口径选型、安装指导、故障远程排查
真空镀膜:蒸发镀膜、溅射镀膜、离子镀、光学镀膜
真空干燥:真空干燥、冷冻干燥、真空脱气
分析仪器:质谱仪、检漏装置
真空成形:真空包装、真空吸附、搬运、真空成形、真空铸造
气体处理:气体置换、充填、真空隔热
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ULVAC VDN301 / VDN401 / VDN602 / VDN902 双级油旋片真空泵
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