EBARA 荏原 EV‑A10‑2S 五级罗茨干式真空泵玉崎科学仪器原装现货供应

EV‑A10‑2S：单相 200‑240V 风冷无油干泵；同系列三相版本 EV‑A10‑3S。

定位：Load‑lock 预抽、科研腔体、镀膜、半导体中小型设备，不需要冷却水，仅供电即可运行，擅长反复从大气抽真空工况。

型号释义

• EV‑A10：系列本体，五级非接触罗茨干式泵
• 2S = Single‑phase 单相 AC200‑240V
• 3S = 三相 AC200‑240V

核心规格参数

结构与关键特点

1. 五级非接触罗茨转子，泵腔与齿轮润滑腔隔离；完全无油，无返油污染，适合洁净腔体、光学、半导体 Load‑Lock 预抽。
2. 风冷设计，不用水冷，无尘车间、实验室可以直接摆放，没有漏水风险。
3. 50Hz/60Hz 抽速性能一致，内置变频驱动，低功耗、启停平稳。
4. 自带可开关气镇阀，可处理水汽，适合溶剂、含水工艺；不适合强腐蚀工艺气体（可选吹扫选配）。
5. 电气接口：具备报警输出、远程启停 I/O 信号，方便接入设备 PLC 控制系统。
6. 消耗件：仅进气过滤器，转子非接触几乎无磨损，长周期免维护。

典型应用

• 半导体设备：Load‑lock 腔体预抽、等离子清洗、小型 PVD 镀膜机粗抽
• 科研真空腔体、光学实验、真空干燥
• 锂电：真空脱气、注液腔体预抽
• 频繁破真空、反复大气抽气工况（对比涡旋泵抽大气效率优势明显）

⚠️注意：本泵只到 1Pa 级别，属于粗抽 / 预抽泵，不能做高真空主泵；需要搭配分子泵获得高真空。

选配选项

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