日本MIYUKI美幸辉 AER-C160 真空L型阀门
日本MIYUKI美幸辉 AER-C160 真空L型阀门
驱动方式:气动双作用气缸,气源0.4~0.6MPa 干燥压缩空气,大口径 160 规格仅双作用,不可单作用弹簧复位;选配 DC24V 电磁阀 + 阀位反馈(NPN/PNP)对接 PLC 自动控制。
阀体材质:SUS304 不锈钢,内腔电解镜面抛光、低放气,CF 法兰配无氧铜密封垫圈;阀杆、阀座 FKM 氟橡胶密封。
真空性能:适用压力10⁵Pa~10⁻⁵Pa,整机氦漏率≤1×10⁻⁸Pa·m³/s,大通流、流阻小,通导速率约 720L/s,双向耐受反压差、任意方位安装。
耐温与寿命:阀体*使用 **≤150℃,不可整炉高温烘烤除气 **;磁感应开关≤70℃,启闭寿命≥10 万次,O 圈为*易损件,更换简便。
CF160 标准刀口法兰:高真空通用接口,适配分子泵、进口腔体 CF 管路,无氧铜硬密封法兰漏率优异,设备改造无需改开孔尺寸。
O 圈密封高:对比同规格ABR-C160 金属波纹管款采购、维修成本更低,FKM 耐水汽、耐油、耐常规腐蚀,量产设备降本*。
内置气缸缓冲:开关缓冲减震,减小阀座冲击、延长密封圈寿命;L 型流线内腔抽气快,缩短腔体预抽时间。
| 型号 | 密封结构 | 极限真空 | 允许烘烤 | 适用定位 |
|---|---|---|---|---|
| AER-C160 | FKM O 圈动密封 | 10⁻⁵Pa | ≤150℃,禁高温烘烤 | 中真空粗抽阀、量产经济型设备 |
| ABR-C160 | 316L 金属波纹管 | 10⁻⁷Pa | 200℃高温烘烤 | 高真空 PVD、半导体、科研腔体 |
