LINTEC 琳得科 RAD-2500m/12 300mm 半自动晶圆贴膜机
LINTEC 琳得科 RAD-2500m/12 为适配 12 英寸晶圆的半自动划片胶带贴合设备,采用预切圆形胶带作业模式,人工放置晶圆与铁环后,设备自动完成胶带贴合,机身无内置切刀,操作安全性高。搭载 TTC 张力控制系统,稳定管控贴膜张力,减少气泡空洞,保障贴合均匀平整。整机结构紧凑,占用洁净室空间小,非常适合研发实验室、小批量试样产线。
原生兼容 Adwill D 系列 UV 划片胶带、G 系列非 UV 切割胶带以及 Adwill LE 一体化粘晶胶带,适配硅晶圆、部分化合物晶圆刀片切割、激光划片工序。可选配静电消除器、遮光防护罩、晶圆定位销等选配组件。
选型区分:RAD-2500m/12 属于半自动机型,无 FOUP 自动上下料,产线投入更低;大批量连续生产可升级 RAD-2500F/12 全自动机型。该机仅用于划片胶带贴膜,不能用来贴合 BG 背磨保护膜,背磨贴膜需要选用 RAD-3500m/12、RAD-3520F/12 系列。
供应整机、翻新设备与原厂备件,配套工艺调试,同步供应琳得科全系划片胶带,可提供设备规格资料,支持试样测试与长期供货。
LINTEC 琳得科 RAD-2500m/12 300mm 半自动晶圆贴膜机
