山金进口 MF1100B 质量流量控制器 OHKURA大仓

来源:山金工业(深圳)有限公司
发布时间:2026-09-02 13:48:57
MF1100B系列是一款实现高性能、低成本的质量流量计/质量流量控制器。有从 5 SCCM 到 20 SLM 的 15 个流量范围,使其易于用于从分析到工业用途的各种用途。
  • 所属分类 :
     OHKURA大仓
  • 发布时间 : 2025-11-10
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  • 详细介绍
特征

■高可靠性
通过内部电路的集成化,实现了可靠性和小型化。
■高兼容性
可使用与MF5100B系列相同的配管连接材料、电源、设定装置。
■丰富的外围设备
外围设备包括指示灯、设定装置、电源、带连接器的电缆等。

规格
模型 质量流量计 质量流量控制器
标准范围 商品 通用产品 商品 通用产品
控制范围 MF1121B MF1111B MF1171B(常闭)
MF1181B(常开)
MF1141B(常闭)
MF1151B(常开)
准确度等级 0~5 SCCM 0~100 SCCM 0~2 SLM
0~10 〃 0~200 〃 0~
3 〃 0~20 〃 0~300 〃 0~5 〃
0~30 〃 0~500 〃 0~10 〃
0~50 〃 0~1,000 〃 0~20 〃
0.1~5 SCCM 2~100 SCCM 0.04~2 SLM
0.2~10 〃 4~200 〃 0.06~3 〃
0.4~20 〃 6~300 〃 0.1~5 〃
0.6~30 〃 10~500 〃 0.2~10 〃
1.0~50 〃 20~1,000 〃 0.4~20 〃
控制范围 - 2~*满量程
准确度等级 ±2%FS以下 ±1.5%FS以下 ±2%FS以下 ±1.5%FS以下
线性度 ±1%FS以下 ±0.7%FS以下 ±1%FS以下 ±0.7%FS以下
再现性 ±0.2%FS以下 ±0.2%FS以下 ±0.2%FS以下 ±0.2%FS以下
响应时间 输出电压在大约 3 秒内收敛到设定值的 ±2%FS 以内。
*工作压力 1.0MPa
耐压性 1.5兆帕
压力损失 5.0kPa
工作压差 - 5SCCM~5SLM: 34~275kPa
10~20SLM: 69~275kPa
流量设定 - 0~5V直流 0~5V DC(标配)
1~5V DC(可选)
输出信号 0~5V直流 0~5V DC(标配)
1~5V DC(可选)
工作温度范围 5~45℃(相同气体温度)
安装位置误差 ±0.5%FS以下(安装位置自由)
泄漏标准 1.013×10 -9・m 3 /s(He)以下(标准)
管道连接 1/4 Swagelok(标准),VCR(可选)
气体接触材料 SUS316、氟橡胶 SUS316、氟橡胶、氟树脂
大量的 约680克 约800克
功耗 1VA以下 3VA以下
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