山金原装 JEOL日本电子 JBX-A9系列 电子束光刻系统

来源：山金工业(深圳)有限公司
发布时间：2026-09-16 14:16:44
特征
既能实现高渲染精度，又能实现高吞吐量。
为稳定性而设计的电子光学系统
支持*尺寸为 300 毫米的晶圆。
支持 300 毫米晶圆 FOUP。
它可以与其他产品（例如自动照片冲印机）在线集成。
与我们之前的型号相比，功耗更低。
操作简单易上手，任何人都能轻松掌握。
应用示例
  • 所属分类 ：
     JEOL 日本电子
  • 发布时间 ： 2026-07-03
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  • 详细介绍

规格和选项

物品 规格
加速电压 100千伏
场大小 1000微米
*小增量 0.25纳米
场连接精度 ±9 nm
叠加精度 ±9 nm
*小线宽 ≤8 nm
束流 50 pA 至 400 nA
扫描速度 200MHz（*值）
舞台位置读取分辨率 0.15纳米
像差校正 偏转焦点
偏转散光
偏转畸变
*材料尺寸 300毫米晶圆
9英寸掩模
功耗 正常情况下为 5 千伏安
标准尺寸 7.4 米 × 5.3 米 × 2.7 米（高）
作曲（节选）
绘图装置基本体
10碟盒式磁带传输系统
控制CPU系统
控制程序
数据准备程序
选项（部分列表）
光学显微镜
晶圆传输系统（兼容 300 毫米晶圆 FOUP）
晶圆传输系统（兼容200毫米晶圆）
48千伏高压应用方案
各种磁带
SECS/GEM 通信兼容

* 我们还提供其他等级的型号。请随时联系我们。

‌日本电子株式会社（JEOL Ltd.）‌ 是一家 1949 年成立于日本的科学仪器制造商，全球员工约 3731 人，年销售额 1793 亿日元，*为 ?url=PCn7t_Vizc1f7E_j1UOQX21pgmclxG1BKLZgC0ULNsa" class="marklang-">jeol.com。‌‌

公司与业务概况
  1. ‌全球布局‌：JEOL 在日本及全球设有 27 个海外办事处，海外销售占比达 67.2%，在 Nature Index 日本企业类别中排名第 1。‌‌
  2. ‌四大业务板块‌：
    • 科学仪器：电子显微镜、 cos-space-mr-3xs" href="https://www.baidu.com/s?ch=1&tn=25017023_14_dg&wd=%E6%97%A5%E6%9C%AC%E7%94%B5%E5%AD%90%20%E6%A0%B8%E7%A3%81%E5%85%B1%E6%8C%AF%E8%B0%B1%E4%BB%AA&usm=3&ie=utf-8&rsv_pq=f041bfaf00094497&oq=JEOL%E6%97%A5%E6%9C%AC%E7%94%B5%E5%AD%90&rsv_t=39662d2loPqi7Vk%2FE6DU1%2FzjJCFjtlVQliIOv%2BrxKFMoXg2GYizqDBASo08gu%2FclSufZX0Q&rsv_dl=re_dqa_generate&sa=re_dqa_generate" target="_blank">核磁共振谱仪、 cos-space-mr-3xs" href="https://www.baidu.com/s?ch=1&tn=25017023_14_dg&wd=%E6%97%A5%E6%9C%AC%E7%94%B5%E5%AD%90%20%E8%B4%A8%E8%B0%B1%E4%BB%AA&usm=3&ie=utf-8&rsv_pq=f041bfaf00094497&oq=JEOL%E6%97%A5%E6%9C%AC%E7%94%B5%E5%AD%90&rsv_t=d4f8rwwdfPli7l5hKqK0EvvtHiK%2BwzTZq5%2BUr1mMqUSkQz7%2BRxnpat52Xs6r8nQ8GzPNvgw&rsv_dl=re_dqa_generate&sa=re_dqa_generate" target="_blank">质谱仪等，用于科研领域。
    • 半导体设备：电子束光刻系统、半导体用电子显微镜等。
    • 工业设备：电子束源、等离子源、3D 打印机等，用于薄膜形成和材料加工。
    • 医疗设备：临床化学分析仪、实验室信息系统等。‌‌
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