山金原厂 JEOL日本电子 JBX-3200MVS 电子束光刻系统

来源：山金工业(深圳)有限公司
发布时间：2026-09-16 14:17:54
这是一款用于制造32nm至28nm工艺节点掩模和光罩的可变形状电子束光刻系统。
它采用*技术，实现了高速、高精度和高可靠性。
该系统基于50kV加速电压的可变形状电子束和步进重复平台系统。
特征
通过利用步进重复绘制方法的优势，并将其与绘制剂量调制和叠加绘制等功能相结合，它可以处理传统掩模/光罩图案所需的各种校正。
执行记录
国内外的专营口罩店和零售商口罩店。
规格和选项
连接准确性 ≤±3.5nm
叠加精度 ≤±5nm
  • 所属分类 ：
     JEOL 日本电子
  • 发布时间 ： 2026-07-03
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这是一款用于制造32nm至28nm工艺节点掩模和光罩的可变形状电子束光刻系统。
它采用*技术，实现了高速、高精度和高可靠性。
该系统基于50kV加速电压的可变形状电子束和步进重复平台系统。

特征

通过利用步进重复绘制方法的优势，并将其与绘制剂量调制和叠加绘制等功能相结合，它可以处理传统掩模/光罩图案所需的各种校正。

执行记录

国内外的专营口罩店和零售商口罩店。

规格和选项

连接准确性 ≤±3.5nm
叠加精度 ≤±5nm

‌日本电子株式会社（JEOL Ltd.）‌ 是一家 1949 年成立于日本的科学仪器制造商，全球员工约 3731 人，年销售额 1793 亿日元，*为 ?url=PCn7t_Vizc1f7E_j1UOQX21pgmclxG1BKLZgC0ULNsa" class="marklang-">jeol.com。‌‌

公司与业务概况
  1. ‌全球布局‌：JEOL 在日本及全球设有 27 个海外办事处，海外销售占比达 67.2%，在 Nature Index 日本企业类别中排名第 1。‌‌
  2. ‌四大业务板块‌：
    • 科学仪器：电子显微镜、 cos-space-mr-3xs" href="https://www.baidu.com/s?ch=1&tn=25017023_14_dg&wd=%E6%97%A5%E6%9C%AC%E7%94%B5%E5%AD%90%20%E6%A0%B8%E7%A3%81%E5%85%B1%E6%8C%AF%E8%B0%B1%E4%BB%AA&usm=3&ie=utf-8&rsv_pq=f041bfaf00094497&oq=JEOL%E6%97%A5%E6%9C%AC%E7%94%B5%E5%AD%90&rsv_t=39662d2loPqi7Vk%2FE6DU1%2FzjJCFjtlVQliIOv%2BrxKFMoXg2GYizqDBASo08gu%2FclSufZX0Q&rsv_dl=re_dqa_generate&sa=re_dqa_generate" target="_blank">核磁共振谱仪、 cos-space-mr-3xs" href="https://www.baidu.com/s?ch=1&tn=25017023_14_dg&wd=%E6%97%A5%E6%9C%AC%E7%94%B5%E5%AD%90%20%E8%B4%A8%E8%B0%B1%E4%BB%AA&usm=3&ie=utf-8&rsv_pq=f041bfaf00094497&oq=JEOL%E6%97%A5%E6%9C%AC%E7%94%B5%E5%AD%90&rsv_t=d4f8rwwdfPli7l5hKqK0EvvtHiK%2BwzTZq5%2BUr1mMqUSkQz7%2BRxnpat52Xs6r8nQ8GzPNvgw&rsv_dl=re_dqa_generate&sa=re_dqa_generate" target="_blank">质谱仪等，用于科研领域。
    • 半导体设备：电子束光刻系统、半导体用电子显微镜等。
    • 工业设备：电子束源、等离子源、3D 打印机等，用于薄膜形成和材料加工。
    • 医疗设备：临床化学分析仪、实验室信息系统等。‌‌
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