山金全新 JEOL日本电子 SB-89010EUVC 准分子紫外线清洗机
来源：山金工业(深圳)有限公司
发布时间：2026-09-16 14:20:28
特征
兼容150mm晶圆
在涂覆光刻胶之前，请清洁材料表面。
去除材料表面的有机物。
提高材料与光刻胶之间的粘合力（*并非所有情况下都能保证提高）
由于处于真空环境，臭氧生成量极小。
臭氧生成速率：0.0012 mg/min。
设备周围臭氧浓度：0.01 ppm。
准分子紫外线清洗机利用氙 (Xe) 激发二聚体（准分子）发射的波长为 172 nm 的紫外线，去除晶圆表面的有机化合物污渍。
清除抵抗力残留物
蚀刻前进行清洗可以去除晶圆表面的残留光刻胶。
清洁前
正性光刻胶，厚度400nm
清洁后
照射20分钟
有关使用准分子紫外线清洗机进行样品清洗/亲水化处理的机理信息，
兼容150mm晶圆
在涂覆光刻胶之前，请清洁材料表面。
去除材料表面的有机物。
提高材料与光刻胶之间的粘合力（*并非所有情况下都能保证提高）
由于处于真空环境，臭氧生成量极小。
臭氧生成速率：0.0012 mg/min。
设备周围臭氧浓度：0.01 ppm。
准分子紫外线清洗机利用氙 (Xe) 激发二聚体（准分子）发射的波长为 172 nm 的紫外线，去除晶圆表面的有机化合物污渍。
清除抵抗力残留物
蚀刻前进行清洗可以去除晶圆表面的残留光刻胶。
清洁前
正性光刻胶，厚度400nm
清洁后
照射20分钟
有关使用准分子紫外线清洗机进行样品清洗/亲水化处理的机理信息，
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所属分类 ：JEOL 日本电子
- 发布时间 ： 2026-07-03
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- 详细介绍
规格和选项
| 紫外线照射 | 波长 172 纳米 | ||
|---|---|---|---|
| *样本量 | 152.4 毫米（宽）× 154.2 毫米（深）× 60 毫米（高） | ||
| *样品质量 | 1公斤 | ||
| 照射时间设置 | 10秒到99分钟 | ||
| 真空泵 | 隔膜式干式真空泵 | ||
| 安装条件 | 电源 | 单相 90-110 伏，50/60 赫兹，500 伏安 | |
|
尺寸和重量 （不含电缆和真空管道） |
主机 | 尺寸：43厘米（宽）× 44厘米（深）× 31厘米（高），重量：约22公斤 | |
|
真空泵 |
尺寸：17厘米（宽）× 33厘米（深）× 22厘米（高），约8公斤 | ||
| 室温 | 15至30摄氏度 | ||
| 湿度 | 相对湿度60%或更低（无冷凝） | ||
| 定期更换部件（累计辐照1000小时后更换） | 紫外线灯、真空计、O型圈等。 | ||
以上信息由企业自行提供，信息内容的真实性、准确性和合法性由相关企业负责，仪器仪表交易网对此不承担任何保证责任。
温馨提示：为规避购买风险，建议您在购买产品前务必确认供应商资质及产品质量。
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