直发 Irie Koken入江工研 M-250J(S)-2(3) 码头排气阀

来源:山金工业(深圳)有限公司
发布时间:2026-11-04 11:43:01
圆形闸阀“Marina”排气阀等。

过去三十年间,半导体市场的发展速度远摩尔定律,小型化进程迅速从微米级迈向纳米级。
制造设备也通过持续的技术革新实现了小型化,而安装在其中的真空闸阀的性能也需要不断提升。
为了满足日益增长的市场需求,我公司正致力于不断改进产品的功能。


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圆形闸阀,码头排气阀
• 配备排气主阀
和压力消除机构
• 兼容 500A(开发版)
  • 所属分类 :
     Irie Koken入江工研
  • 发布时间 : 2026-09-01
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  • 详细介绍

标准规格


泄漏
 主机:1 × 10⁻¹⁰ [Pa·m³ / s]
 
 阀体:5 × 10⁻¹⁰ [Pa·m³ / s](背压) 

工作温度
主机:120 [℃]
执行器:60 [℃]
营业时间  3.0 至 5.0 [秒]

材料
阀体:AC4C-T6
;波纹管:SUS316L(压力抵消);
阀板:铝;
密封材料:FKM
工作压力  0.45 至 0.60 [兆帕]
寿命 100万次
选项 无压取消规范
  
口径 模型 一个 B C D E
250 M-250J(S)-2(3) 460 655 100 134.5 250
320 M-320J(S)-2(3) 555 790 120 129.5 320
400 M-400J(S)-2(3) 630 944 135 129 400

🔧 核心技术与优势

📦 主力产品线

  1. ‌金属波纹管(基石)‌
    • 焊接波纹管:NS系列(SUS316L材质,内径8~260mm)、NA系列(AM350合金,适配百万次高频工况)。
    • 成形波纹管:IF系列(JIS法兰)、IC系列(CF刀口法兰),一体液压胀形无拼接焊缝。
    • 定制类波纹管:支持矩形、长圆形、自由异形开口定制,适配OLED大尺寸显示设备场景。
  2. ‌真空阀门系列‌
    • KS-i系列矩形真空闸阀:大尺寸可定制至1500mm,无摩擦启闭无颗粒污染,适配半导体晶圆腔体。
    • FLV高真空角阀、Marina圆形摆臂阀:覆盖KF/CF多口径,用于泵组隔断、腔体旁路隔离。
  3. ‌真空配套元件‌
    • VF/VFP系列真空柔性管:KF10-KF100口径可选,用于CVD/PVD设备泵体隔振。
    • MFL磁耦合直线/旋转导入器:无贯穿轴动密封,杜绝漏气与油气污染,适配电镜、分析仪器样品台。
    • 小型离子泵、真空快插接头、直线导入器等全系列真空周边部件。

📌 典型应用场景

产品广泛配套于半导体晶圆制造、FPD显示面板、光学镀膜设备、粒子加速器、科研分析仪器(电镜/质谱)、核聚变装置等高端领域,是日系精密真空装备的核心原厂配套零部件。

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