原厂 Irie Koken入江工研 ILC-34-10 波纹管式紧凑型直线导轨电机

🔧 核心技术与优势

• 核心壁垒为‌精密薄焊接金属波纹管成型工艺‌，产品漏率可稳定控制在≤1×10⁻⁹ Pa·m³/s，实现高气密零泄漏。
• 全金属结构支持*250℃高温烘烤除气，无橡胶密封件放气污染，适配洁净高真空工况。
• 波纹管产品*可实现百万次高频往复疲劳寿命，远行业常规产品寿命等级。

📦 主力产品线

1. ‌金属波纹管（基石）‌
   • 焊接波纹管：NS系列（SUS316L材质，内径8~260mm）、NA系列（AM350合金，适配百万次高频工况）。
   • 成形波纹管：IF系列（JIS法兰）、IC系列（CF刀口法兰），一体液压胀形无拼接焊缝。
   • 定制类波纹管：支持矩形、长圆形、自由异形开口定制，适配OLED大尺寸显示设备场景。
2. ‌真空阀门系列‌
   • KS-i系列矩形真空闸阀：大尺寸可定制至1500mm，无摩擦启闭无颗粒污染，适配半导体晶圆腔体。
   • FLV高真空角阀、Marina圆形摆臂阀：覆盖KF/CF多口径，用于泵组隔断、腔体旁路隔离。
3. ‌真空配套元件‌
   • VF/VFP系列真空柔性管：KF10-KF100口径可选，用于CVD/PVD设备泵体隔振。
   • MFL磁耦合直线/旋转导入器：无贯穿轴动密封，杜绝漏气与油气污染，适配电镜、分析仪器样品台。
   • 小型离子泵、真空快插接头、直线导入器等全系列真空周边部件。

📌 典型应用场景

产品广泛配套于半导体晶圆制造、FPD显示面板、光学镀膜设备、粒子加速器、科研分析仪器（电镜/质谱）、核聚变装置等高端领域，是日系精密真空装备的核心原厂配套零部件。