ORC UV-LED-01-365H 手持式 UV 照度计

一、产品基础概述

UV-LED-01-365H 是日本 ORC（奥克制作所）365nm UV-LED 高精度照度 / 光量计，属于 UV-LED01 系列细分型号，专为 365nm 工业紫外 LED 光源、半导体步进曝光机（PPS 系列）配套检测研发，是半导体封装产线、UV 固化实验室便携式测量仪器，由 ORC 与日本产业技术综合研究所联合开发，测量数据可溯源*计量标准。型号后缀释义：365H = 固定适配 365nm 波段、高量程检测探头，适配大功率 365nm UV-LED 曝光光源。

二、核心技术参数

1. 适配测量波长：365nm UVA 紫外波段，光谱响应经过原厂校准，无杂波干扰

2. 测量项目

• 实时辐照度（mW/cm²）

• 峰值辐照度（W/cm²）

• 累积曝光光量（J/cm²）

3. 量程范围：0.01~20000 mW/cm²（H 高量程探头，适配半导体大功率曝光机）

4. 测量精度：对比*标准源误差≤±1.5%，每台独立波长校准

5. 硬件结构：分体式设计，主机 + 外置小型平面传感器探头，2 米连接线，可伸入光刻机腔体内部测量

6. 供电方式：2 节 5 号 AA 电池；支持 AC100~240V 外接电源适配器连续供电

7. 机身尺寸：168×82×32mm，整机重量仅 210g，单手手持操作

8. 工作环境：温度 0~40℃，无尘车间适配，支持半导体洁净厂房使用

9. 数据存储：自动记录多组曝光光量数据，支持模式切换、量程一键切换、复位清零

三、五大核心产品优势

1. UV-LED 专属平坦光谱响应，测量*

区别于传统汞灯照度计，针对 LED 窄带光谱优化，365nm 波段响应曲线平直，不会出现普通检测仪数值虚高 / 偏低问题，*匹配 ORC 自家 LUV-M、PPS 光刻机内置 365LED 光源。

2. 分体探头，适配光刻机密闭腔体检测

微型薄传感器探头，可放入 PPS-8200/PPS-8500 步进曝光机内部，直接测量晶圆载板工作面真实照度，无需拆机，快速完成产线光源点检。

3. 高量程 365H 探头，覆盖大功率曝光设备

H 型高量程探头支持 20W/cm² 高照度检测，适配面板级 FOPLP 大面光源、短距离高照度 LED 模组，覆盖半导体*封装全功率段光源。

4. 便携式工业设计，产线巡检便捷

机身轻量化、4 按键简易操作（电源 / 复位启动 / 模式 / 量程），大屏 LCD 数字显示，实时同步读取照度与累积曝光能量，产线人员快速上手。

5. 可溯源计量校准，满足半导体工厂质检标准

原厂提供波长专项校准证书，测量体系可追溯日本*计量标准，数据可用于车间品质管控、设备验收、客户审厂报告出具。

四、主要应用场景

1. 半导体*封装（核心用途）

配套 ORC PPS 系列步进光刻机，定期检测 365nm 曝光光源照度均匀度、光量衰减，管控 RDL 布线、微凸块光刻工艺稳定性，避免晶圆线路不良。

2. UV 固化产线品质管控

FPC 柔性线路板、摄像头模组 UV 胶固化、芯片底部填充胶光源点检，每日监控 LED 光衰，保证固化一致性。

3. 实验室研发测试

光刻胶配方评估、365nm UV-LED 光源新品开发、光敏材料曝光能量对比实验。

4. 设备维护与验收

新购入 UV 曝光机出厂检测、产线光源更换后校准、年度设备点检记录采集。

五、同系列型号区分

1. UV-LED-01-365S：标准低量程 365nm 探头，适配小型点光源、实验室低功率 LED

2. UV-LED-01-365H（本款）：高量程探头，半导体大功率曝光机

3. UV-LED-CS01：紧凑型迷你主机，固定安装在线式检测版本