日本爱发科ULVAC GR90A 多级罗茨型干式真空泵 深圳京都玉崎现货

日本爱发科ULVAC GR90A 多级罗茨型干式真空泵 深圳京都玉崎现货

日本爱发科ULVAC GR90A 多级罗茨型干式真空泵 深圳京都玉崎现货

一般工业高负荷干式泵怎么选？ULVAC GR90A，抽速覆盖62~237m³/h，大气-真空反复抽气高负荷

开篇：大气与真空反复抽气，普通干泵扛不住高负荷

真空干燥机、真空气体置换、装卸锁腔（Load Lock）——这些场景需要在大气压与真空之间反复抽气，且常年在高压范围连续运行。普通干式泵在这种高负荷工况下容易过热、故障率高、寿命短。

更隐蔽的坑：GR系列是基于LR/HR系列多年经验开发的简化设计干式泵，专为一般工业设计。它与LR/HR的核心区别在于：GR系列结构更简单、成本更优，适用于不需要特殊耐腐蚀和高温均热化的普通工业场景。选型时不看工艺复杂度，把GR系列用在CVD/刻蚀等腐蚀性工艺上，泵体很快腐蚀损坏；反过来把LR/HR系列用在普通干燥机上，成本严重浪费。

ULVAC GR60A / GR90A / GR180A 多级罗茨型干式真空泵，设计简洁清洁，适用于一般工业应用。特别适用于高负荷应用，如大气压与真空之间反复抽气、高压范围连续运行。抽速覆盖62~237 m³/h，极限压力5.0 Pa。

三款型号核心参数对比

数据来源：ULVAC越南*、ULVAC SHOWCASE、ULVAC台湾产品目录

注1：极限压力为氮气（轴封气体）5.0 SLM时的数值。
注2：冷却水要求——供给压力0.1~0.3 MPa，出入口压差>0.1 MPa。
注3：N₂要求——一次侧供给压力0.1~0.5 MPa，二次侧调节压力0.05~0.1 MPa（运行时）。

一、GR60A：小型高负荷干泵，真空干燥/装卸锁腔入门标配

GR60A *抽速 62 m³/h（50Hz）/ 80 m³/h（60Hz） ，极限压力 5.0 Pa。适合小到中型规模、需要大气-真空反复抽气的一般工业场景——小型真空干燥机、真空气体置换系统、装卸锁腔。

• 电机功率 2.2 kW

• 重量 128 kg，GR系列*轻

• 吸气口 VG50 或 ISO63F，排气口 NW40

• 冷却水流量 >5.0 L/min，温度 10~30℃（不结露）

• N₂轴封流量 5.0 SLM（固定）

• 表面处理为标准选项

• 电机可选：200V级电机或多电压电机

• 防爆电机可选（选配）

适合谁：小型真空干燥机、真空气体置换系统、装卸锁腔（Load Lock）、真空脱气设备。

二、GR90A：中型高负荷干泵主力，抽速112m³/h

GR90A *抽速 112 m³/h（50Hz）/ 126 m³/h（60Hz） ，极限压力 5.0 Pa。抽速是GR60A的近两倍，适合中等规模高负荷真空设备——中型真空干燥机、各类成膜设备装卸锁腔。

• 电机功率 3.7 kW

• 重量 188 kg

• 吸气口 VG80 或 ISO80F

• 冷却水流量 >5.0 L/min

• N₂轴封流量 5.0 SLM

适合谁：中型真空干燥机、成膜设备装卸锁腔、真空气体置换、真空脱泡。

三、GR180A：大型高负荷干泵，抽速183m³/h

GR180A *抽速 183 m³/h（50Hz）/ 237 m³/h（60Hz） ，极限压力 5.0 Pa。GR系列*号，适合大型高负荷真空系统——大型真空干燥设备、大型装卸锁腔、真空气体置换系统。

• 电机功率 7.5 kW

• 重量 268 kg

• 吸气口 VG80 或 ISO80F

• 冷却水流量 >5.0 L/min

• 可选配消音器 RS-01+ 套件C（SUS304，GBB处理，8.3kg，KF40法兰）

适合谁：大型真空干燥机、大型成膜设备装卸锁腔、真空隔热气体置换、大型真空脱气系统。

四、GR系列共同优势：高负荷连续运行 + 结构简洁 + 多电压电机

GR系列是ULVAC基于LR/HR系列多年经验开发的干式真空泵，专为一般工业设计。五大核心优势：

• 高负荷连续运行：特别适用于高负荷应用，如大气压与真空之间反复抽气，以及在高压范围连续运行

• 装卸锁腔高吞吐量：适用Load Lock室（装载/卸载室） ，可实现高吞吐量

• 感应电机通用：采用通用感应电机，可安装防爆电机等特殊电机（可选）

• 多电压电机：采用多电压兼容电机，200V级或多电压可选

• 表面处理可选：标准表面处理为选项，可根据需要选择

适用气体：空气、惰性气体等洁净气体的真空排气。

五、工程师选型避坑：GR系列怎么选

选型三步法：

1. 确认工艺复杂度：一般工业/洁净气体/高负荷反复抽气 → GR系列（结构简洁、成本优化）；CVD/刻蚀/腐蚀性气体 → HR系列（耐腐蚀+高温均热化）；PVD/负载锁室快速排气 → LR系列（低温均热化）

2. 算抽速：小型设备（62 m³/h级）→ GR60A；中型设备（112 m³/h级）→ GR90A；大型设备（183 m³/h级）→ GR180A

3. 确认厂务条件：需提供冷却水（>5.0 L/min，10~30℃） 和N₂轴封（5.0 SLM固定） 

*不能做的事：

• 把GR系列用在CVD/刻蚀等腐蚀性工艺——无特殊耐腐蚀处理，泵体腐蚀

• 冷却水流量不足（需>5.0 L/min）——过热损坏

• N₂轴封不供应（需5.0 SLM）——密封失效，性能下降

• 冷却水温度低于10℃或高于30℃——结露或冷却不足

• 忽视电机选型——订购时需注明电压和频率

• GR系列抽非洁净气体（含颗粒/腐蚀性）——应选用带特殊表面处理或过滤系统

六、供货与服务保障

• 授权渠道：深圳京都玉崎 — ULVAC爱发科授权经销商

• 发货地：深圳仓 / 上海仓 直发

• 供货周期：GR系列 订货3~4周

• 配套一站式采购：RS-01+消音器（SUS304，GBB处理，KF40法兰）、KF/ISO-K法兰管路、冷却水系统配件、N₂轴封控制系统、防爆电机（选配）

• 技术支持：免费提供GR/LR/HR选型对比建议、厂务条件评估、安装指导

七、落地适配全场景

• 洁净气体排气：空气、惰性气体等洁净气体的真空抽取

• 装卸锁腔：各种成膜设备的装载/卸载室（Load Lock）排气

• 真空干燥：真空干燥机

• 真空气体置换：真空隔热中的气体交换与充气

• 真空脱气：真空脱泡

• 一般工业：各类一般工业真空应用

八、结尾转化

一般工业高负荷干式泵选型怕LR/HR/GR分不清、怕高负荷连续运行撑不住？

ULVAC GR60A / 90A / 180A 多级罗茨型干式真空泵，深圳京都玉崎订货直发，结构简洁成本优化、专为高负荷反复抽气设计，工程师可协助出具《GR系列选型确认表》。

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