美国热电赛默飞146i型多组分气体校准仪配件102494-02 100mL流量计

146i型102494-02 100mL 质量流量计（标气 MFC，100 SCCM）

一、基本信息

• 部件号：102494-02（100 SCCM，标气 MFC）
• 描述：Mass Flow Controller, 100 SCCM, Cylinder Gas
• 适用机型：146i 全系列（标准配置：100 SCCM）
• 功能：钢瓶标气（NO/SO₂/CO 等）的精密测量与闭环控制，稳定提供 0–100 SCCM 流量，与零气（102488-02，0–10 SLPM）按比例混合，输出 ppb 级*校准气Thermo Fisher。

二、技术参数（100 SCCM MFC）

• 量程：0–100 SCCM（25℃/1atm）
• 精度：±2% 读数或 ±1% FS（取较小值，20–* FS）
• 线性度：±0.5% FS
• 重复性：±0.2% FS
• 响应时间：≤30 秒（达 99% 目标流量）
• 工作压力：0–30 psig（ 20–25 psig）
• 介质：NO、SO₂、CO、N₂、零空气（耐微量腐蚀性气体）
• 接口：1/8" 卡套（316L 不锈钢）
• 供电：24 VDC / ±15 VDC（模拟信号）
• 材质：316L 不锈钢阀体，Viton 密封

三、在 146i 中的作用

1. 标气*供给：控制钢瓶标气（如 NO 50 ppm）0–100 SCCM 小流量，与 10 SLPM 零气稀释，输出 0–500 ppb * NO 校准气。
2. GPT 反应气源：为 NO/O₃反应腔（103207-00）提供稳定 NO 流量，保证 NO₂校准精度。
3. 浓度闭环控制：实时反馈流量信号至主板，自动调节标气电磁阀开度，抵消压力波动，保障输出浓度稳定。
4. 低浓度校准核心：ppb 级（如 50 ppb SO₂/NO）校准依赖此 MFC 高精度小流量控制。

四、常见故障

• 流量偏低 / 不稳：传感器污染、零点漂移、标气管路微漏
• 报 Flow Fault / MFC Error：线圈故障、驱动板损坏、气路堵塞
• 稀释浓度偏差大：MFC 校准失效、线性漂移（低浓度尤明显）
• NO₂ GPT 失败：NO 流量不稳导致 O₃/NO 配比失衡

五、互换与替代

• 同系列替代：
  • 102494-01：50 SCCM（小流量，D 型）
  • 102494-02：100 SCCM（标准，E 型）
  • 102494-03：200 SCCM（大流量，F 型）
• 电气兼容：同接口 / 同协议，可直接替换（需软件重新校准）
• 不可互换：零气 MFC（102488-02，10 SLPM）量程与气路不同

六、关联备件清单（采购核对）

部件号	描述	用途
102494-02	100 SCCM 质量流量计（标气）	钢瓶标气小流量主控
102488-02	10 SLPM 质量流量计（零气）	稀释气主控（配比核心）
103125-00	电磁阀（外部 / 内部）	标气 / 零气气源切换
103207-00	电磁阀（反应腔）	GPT 反应气路通断