美国热电赛默飞146i型多组分气体校准仪配件102631-00 146i大质量流量计

146i型102631-00 大质量流量计（零气 / 稀释气 MFC，10 SLPM）

一、基本信息

• 部件号：102631-00（10 SLPM，零气 MFC）
• 描述：Mass Flow Controller, 10 SLPM, Dilution Air
• 适用机型：146i 全系列（标准配置：10 SLPM）
• 功能：** 零空气（Zero Air）** 大流量精密控制，提供稳定 0–10 SLPM 稀释气，与标气 MFC（100 SCCM）按比例混合，输出低浓度（ppb 级）*校准气Thermo Fisher。

二、技术参数（10 SLPM MFC）

• 量程：0–10 SLPM（25℃/1atm）
• 精度：±2% 读数或 ±1% FS（取较小值，20–* FS）
• 线性度：±0.5% FS
• 重复性：±0.2% FS
• 响应时间：≤30 秒（达 99% 目标流量）
• 工作压力：0–30 psig（ 20–25 psig）
• 介质：零空气、氮气（N₂），无腐蚀性
• 接口：1/4" 卡套（316L 不锈钢）
• 供电：24 VDC / ±15 VDC（模拟信号）
• 材质：316L 不锈钢阀体，Viton 密封

三、在 146i 中的作用

1. 稀释气主力供给：提供 10 SLPM 零空气，作为标气（100 SCCM）的稀释载体，实现 1:100 稀释比，直接决定输出浓度范围（如 50 ppm NO → 500 ppb NO）Thermo Fisher。
2. O₃发生气源：为臭氧发生器（102590-00）提供稳定大流量零空气，是 O₃浓度稳定的前提。
3. GPT 反应底气：为 NO/O₃气相滴定（GPT）反应腔提供基础流量，保障 NO₂校准精度。
4. 流量配比基准：作为主流量基准，标气 MFC 按比例跟随，整机浓度闭环控制的核心。

四、与 102488-02 的区别（重要）

• 102631-00：10 SLPM 大流量 MFC（零气 / 稀释气），接口 1/4"，控制零空气
• 102488-02：10 SLPM 大流量 MFC（零气 / 稀释气），接口 1/4"，控制零空气
• 102494-02：100 SCCM 小流量 MFC（标气），接口 1/8"，控制钢瓶标气（NO/SO₂/CO）

注：102631-00 与 102488-02 功能、参数、接口完全一致，为同型号不同编号（版本差异），可直接互换。

五、常见故障

• 流量偏低 / 不稳：传感器污染、零点漂移、零气管路微漏、过滤器堵塞
• 报 Flow Fault / MFC Error：线圈故障、驱动板损坏、气路堵塞、供电异常
• 稀释浓度偏差大：MFC 校准失效、线性漂移（低浓度尤明显）
• O₃浓度不稳：零气流量波动导致 O₃发生效率变化
• GPT 失败：底气流量不稳影响 NO/O₃配比

六、互换与替代

• 同系列替代：
  • 102631-00：10 SLPM（标准，大流量）
  • 102488-02：10 SLPM（兼容，同参数）
  • 102488-01：5 SLPM（小流量，可选）
  • 102488-03：20 SLPM（大流量，可选）
• 电气兼容：同接口 / 同协议，可直接替换（需软件重新校准）
• 不可互换：标气 MFC（102494-02，100 SCCM）量程与气路不同

七、关联备件清单（采购核对）

部件号	描述	用途
102631-00	10 SLPM 大质量流量计（零气）	稀释气主控，配比基准
102488-02	10 SLPM 大质量流量计（零气）	兼容替代，同参数
102494-02	100 SCCM 小质量流量计（标气）	标气小流量控制
103125-00	电磁阀（外部 / 内部）	零气 / 标气气源切换