日本 TORAY 东丽 氧气分析仪 SD+LD-450
日本 TORAY 东丽 氧气分析仪 SD+LD-450
产品概述
SD/LD-450 为分体插入式氧分析仪,传感器 SD 直接拧装 / 法兰接入真空腔体、管道,LD-450 主机壁挂在控制柜,线缆分离连接(标配 2m,*长 10m),无需取样泵、不用引气取样,专攻真空 / 密闭惰性气氛微量氧监测,半导体镀膜、手套箱、3D 打印、真空炉主力型号。
产品五大优势
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分体安装灵活:探头装高温 / 真空腔体,主机装电控柜,避开高温、潮湿恶劣环境
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直插免取样:取消取样管路、真空泵,杜绝管路渗漏带来微量氧测量误差,真空环境通用(10⁻³Pa~ 常压 200kPa)
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快 1 秒响应:探头就近测点,实时捕捉腔体氧波动,适配精密镀膜工艺管控
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耐腐长寿命探头:传感器表面特殊耐蚀涂层,耐微量油气、干燥惰性气体,寿命 3~5 年
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薄壁挂机身:转换器薄型设计,机柜侧壁壁挂安装,节省设备空间
典型应用场景
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半导体 / 光伏:溅射镀膜机、真空扩散炉、晶圆退火腔体、真空管道残氧监测
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锂电 / 新材料:手套箱、负极烧结真空炉、锂电粉体惰性气氛管控
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3D 打印 / 粉末冶金:真空烧结炉、密闭氩气保护腔体
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特种气体:高纯氮 / 氩气真空管线在线氧检
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