日本爱发科ULVAC VD罗茨泵机组 深圳京都玉崎现货

 日本爱发科ULVAC VD罗茨泵机组 深圳京都玉崎现货

日本爱发科ULVAC VD罗茨泵机组 深圳京都玉崎现货

日本爱发科ULVAC VD罗茨泵机组 深圳京都玉崎现货

罗茨泵机组选型怕搭配出错？ULVAC YMV / VS / RL / VD 四大系列，抽速覆盖95~1200m³/h，镀膜/干燥/半导体/检漏一站式真空排气方案

自己配罗茨泵机组，搭错一台整套趴窝

真空镀膜、冷冻干燥、半导体制造、检漏系统——这些场景需要的不是单台泵，而是一套完整的罗茨泵机组：罗茨泵+前级泵+支架+管路+控制箱+油雾过滤器，全部集成在一起，买回去接上电就能用。但很多工程师为了省钱自己买散件组装，结果罗茨泵和前级泵抽速不匹配，控制逻辑对不上，管路漏气，调试三个月都搞不定。

更隐蔽的坑：ULVAC的YM系列分四大子系列——YMV是支架单元（泵需另购）、VS是油旋片+罗茨组合（油润滑前级）、RL是多级罗茨干式泵组合（完全无油）、VD是VDN系列油旋片+罗茨组合。选型时没搞清楚自己需要有油还是无油、抽速多大、控制方式，买回去发现要么油污染工艺腔体，要么抽速不够，要么控制箱不兼容。

ULVAC YM系列罗茨泵机组，四大子系列覆盖不同真空需求，由罗茨泵、前级泵、安装支架、接管、控制箱、油雾过滤器/消音器等组合而成，买回去即插即用，省去自行匹配的麻烦。

四大子系列核心定位对比

一、YMV系列：支架单元，灵活搭配自由组合

YMV是可以将罗茨泵和油旋片真空泵组合在一起的支架单元。根据泵的排气量有4种支架单元可供选择。独立支架设计强调泵的可维护性，*适合用于生产设备。

⚠️ 重要提醒：罗茨泵和油旋片真空泵需另行购买。

可选配件：油雾捕集器、大气压驱动型（变频器）、控制面板、延迟真空电磁阀、冷却水流量开关等。

适合谁：已有罗茨泵和油旋片泵、只需支架和管路集成的客户，或需要定制化机组的场合。

二、YM-VS系列：油旋片+罗茨组合，镀膜/溅射主力

YM-VS系列罗茨泵机组由油旋片真空泵、罗茨泵、安装支架、接管、控制箱、油雾过滤器等组合而成。油润滑前级泵配合罗茨增压，适用于需要高真空、油润滑可接受的场景。

核心特点：

• 油旋片泵作为前级，极限压力可达 6.7×10⁻¹ Pa 级

• 配油雾过滤器，减少排气油雾

• 标准电机：50Hz-380V/400V/415V、60Hz-380V/400V/440V 或 50Hz-200V、60Hz-200V/220V

• VDN301泵在50Hz使用时电机为1.1kW，60Hz使用时需配1.5kW

代表型号：YM-VS-601A、YM-VS-602A、YM-VS-1201A、YM-VS-1202A

适合谁：蒸发镀膜、溅射镀膜、离子镀、光学镀膜等油润滑可接受的真空工艺。

三、YM-RL系列：全干式无油机组，半导体/刻蚀/单晶炉

YM-RL系列罗茨泵机组由多级罗茨式干泵、罗茨泵、安装支架、接管、控制箱、消音器等组合而成。核心优势是完全无油、干燥、清洁。

核心特点：

• 完全无油运行，气体接触区域无油污染

• 低温领域实现均热化

• 大抽速，可缩短排气时间

• 优良的耐腐蚀性

• 低噪音、低振动

⚠️ 注：YM-RL-301A、302A、601A、602A等型号具体参数请咨询。

代表型号：YM-RL-301A、YM-RL-302A、YM-RL-601A、YM-RL-602A、YM-RL-1201A

适合谁：冷冻干燥、镀膜、真空钎焊炉、真空烧结炉、单晶炉、多晶炉、等离子刻蚀、气体回收系统等对油污染极度敏感的场景。

四、YM-VD系列：VDN油旋片+罗茨组合，热处理/烧结炉

YM-VD系列罗茨泵机组由油旋片真空泵（VDN系列）、罗茨泵、安装支架、接管、控制箱、油雾过滤器等组合而成。与YM-VS的区别在于前级泵为VDN系列双级油旋片泵，极限压力更低。

核心特点：

• 前级泵为VDN系列双级油旋片泵，极限压力 6.7×10⁻¹ Pa（气镇关）

• 配油雾过滤器

• 标准电机规格同YM-VS系列

代表型号：YM-VD-301A、YM-VD-601A、YM-VD-602A、YM-VD-1201A、YM-VD-1202A

适合谁：单晶炉、多晶炉、真空热处理炉、烧结炉、退火炉、淬火炉等需要高真空、油润滑可接受的工业热处理场景。

五、YM系列共同优势：成套供应 + 即插即用 + 丰富选配

YM系列是ULVAC的罗茨泵机组产品线，将罗茨泵、前级泵、支架、管路、控制箱等全部集成在一个紧凑的框架内。四大核心优势：

• 成套供应，省去匹配烦恼：罗茨泵+前级泵+管路+控制箱全部配好，无需自行计算抽速匹配和管路设计

• 独立支架设计，维护方便：机械增压泵和油旋片泵支架独立，维护油旋片泵时无需拆卸设备侧主管道

• 丰富的选配项：油雾捕集器、变频器、控制面板、延迟真空电磁阀、冷却水流量开关等可按需选配

• 覆盖有油/无油两大路线：VS/VD系列为油润滑前级，RL系列为完全无油干式，满足不同洁净度要求

六、工程师选型避坑：YM系列四大子系列怎么选

选型四步法：

1. 先定洁净度：工艺*不允许油污染（单晶炉、等离子刻蚀）→ YM-RL系列（无油干式）；油润滑可接受 → YM-VS或YM-VD系列

2. 再定前级泵：需要VDN系列双级高真空 → YM-VD系列；标准油旋片即可 → YM-VS系列；已有泵只需支架 → YMV系列

3. 后算抽速：小腔体/分析仪器 → YMV-01A（95 m³/h）；中型镀膜/干燥 → YMV-03A（250450 m³/h）；大型产线 → YMV-12A（8501000 m³/h）

4. 确认冷却方式：YMV-01A为空冷；YMV-03A及以上可选/需水冷

*不能做的事：

• YMV系列以为买回去就能直接用——罗茨泵和油旋片泵需另行购买

• 有油系列不配油雾过滤器——油雾污染车间环境

• 抽速配比不当——罗茨泵和前级泵抽速不匹配，机组无法正常工作

• 用错真空泵油——各种泵油性能不同，必须使用ULVAC真空泵油

七、供货与服务保障

• 授权渠道：深圳京都玉崎 — ULVAC爱发科授权经销商

• 发货地：深圳仓 / 上海仓 直发

• 供货周期：YM-VS/VD/RL系列常用规格 订货 3~4 周；YMV系列支架单元 现货或2~3周

• 配套一站式采购：ULVAC真空泵油、油雾过滤器滤芯、KF/ISO-K法兰管路、控制箱配件、冷却水系统配件

• 技术支持：免费提供子系列选型建议、抽速计算、冷却方式评估、安装指导、故障远程排查

八、落地适配全场景

• 真空镀膜：蒸发镀膜、溅射镀膜、离子镀、光学镀膜

• 半导体/光伏：单晶炉、多晶炉、等离子刻蚀

• 真空热处理：真空热处理炉、烧结炉、退火炉、淬火炉

• 真空干燥：真空干燥、冷冻干燥

• 检漏与气体：检漏设备及系统、气体回收系统

• 家电/照明：冰箱、空调自动抽空线、节能灯、背光源排气设备

九、结尾转化

罗茨泵机组选型怕有油无油分不清、怕搭配出错、怕调试周期长？

ULVAC YMV / VS / RL / VD 四大系列罗茨泵机组，深圳京都玉崎订货直发，成套供应即插即用，配套真空泵油及滤芯同步供应，工程师可协助出具《YM系列选型确认表》。

立即私信或留言，发送您的工艺类型 + 腔体容积 + 目标真空度 + 洁净度要求（有油/无油），我们免费出具《YM系列子系列选型建议》，助您一次选对！