ULVAC 爱发科 DIS-90 涡旋干式真空泵 产品介绍玉崎科学仪器原装现货

来源:玉崎科学仪器(深圳)有限公司
发布时间:2026-07-28 11:43:43

ULVAC 爱发科 DIS-90 涡旋干式真空泵 产品介绍

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DIS-90整机图

一、基础概述

型号:ULVAC(日本爱发科)DIS-90
泵类型双绕式涡旋干式真空泵(无油干泵)
采用一级动涡旋 + 两级定涡旋复合涡旋结构;动、静涡旋盘非接触运转,泵腔内部无润滑油,属于洁净型干式机械泵;可直接从大气压启动,常作为分子泵前级泵,是实验室、精密设备小型真空主力干泵。

二、核心技术规格

项目 参数
抽气速度 50Hz:90 L/min;60Hz:108 L/min
极限压力 ≤5 Pa
电机规格 单相 100/115/200/230V,150W,4 极电容启动
吸气接口 KF25
排气接口 KF16
外形尺寸 214(W)×308(L)×225(H) mm
整机重量 14 kg
冷却方式 风冷(无需冷却水)
噪音 ≤52dB(开启空气冲洗 AF);≤57dB(关闭 AF)
环境温度 5~40℃,室内使用
标配功能 内置运行计时表、自动复位热保护器、Air Flush 空气吹扫接口(Rc1/8)
RoHS 支持

三、工作原理

偏心驱动轴带动动涡旋盘做圆周平动,与固定涡旋盘形成连续变化的密闭压缩腔;气体由外周吸入,逐级向中心压缩排出;无油、无金属摩擦接触,不产生油雾污染,获得洁净真空。

四、产品核心特点

完全无油洁净真空
泵腔不含润滑油,无返油风险,不会污染腔体、样品、光学元件,优于油旋片泵。
风冷小型化,安装灵活
无需水冷,体积小巧、自带提手,便于设备内置集成、实验室移动使用。
低振动、低噪音
涡旋运转平稳,振动远小于活塞式干泵(DOP 系列),适合精密分析仪器。
自带空气吹扫(AF)功能
通入少量干燥空气吹扫泵腔,抑制水汽凝结,轻微提升耐水汽能力。
运维可视化
标配运行小时计,便于记录时长、规划密封件保养周期;内置过热保护。
大气压可连续启动
宽压力区间稳定运行,可直接作为分子泵(TMP)标准前级泵。

五、典型应用场景

  1. 分析仪器:氦气检漏仪、质谱仪、SEM 扫描电镜、表面分析设备前级泵
  2. 光学 / 半导体小型设备:小型镀膜、Load-Lock 预抽、晶圆小型真空载台
  3. 实验室真空:小型真空腔体、样品脱气、真空干燥、气体回收系统
  4. 通用精密设备:小型等离子设备、科研真空实验装置

六、重要使用注意事项

  1. 工况限制
    不可抽吸大量粉尘、有机溶剂蒸汽、强酸、卤素、液态水;仅允许微量水汽,长时间含水工况必须持续开启空气吹扫。
  2. 进气建议
    进气前端务必加装粉尘过滤器,固体颗粒会刮伤涡旋密封面,造成极限真空恶化。
  3. 对比选型参考

七、采购渠道
玉崎科学仪器(深圳)有限公司  原装现货供应
负责人:¹⁵⁸¹⁵⁵⁵⁰⁹⁹⁸ (林经理)
公司网站:www.shashinkagaku.com
地址:广东省深圳市龙华新区龙华街道906号电商集团7楼整层玉崎科学

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