科普 EBARA 荏原 始于流体 深耕精密制造的百年工业

EBARA 荏原，全称株式会社荏原制作所，1912 年创立、1920 年正式成立，部坐落于日本东京，是享誉全球的百年流体机械与精密设备集团，东京证券交易所上市企业。从*初以水泵起家，荏原沿着流体、真空、热工、精密制程技术持续延伸，搭建起五大事业板块，业务横跨民生基建、能源化工、暖通工业、环境工程、半导体精密设备，也是京都玉崎长期配套供货的日系主力荏原(...。

荏原的核心根基是流体动力技术，这也是它区别于很多仪器厂商的底层优势。百年来沉淀的转子设计、密封结构、流体仿真、耐蚀材料技术，同时支撑起通用泵阀、风机制冷设备，以及半导体干式真空泵、CMP 化学机械抛光机等高精尖制程装备。很多客户只知道荏原的工业泵，却不熟悉它在半导体真空领域的行业地位，它的干式真空泵、CMP 设备长期稳居全球市场前列，是晶圆制造产线的核心配套设备供应商EBARA CORP...。

干式真空泵（精密真空产品线核心）

无油干式真空泵是荏原精密机械事业部的产品，也是半导体、氢能、锂电、镀膜行业的热门选型。采用无油干式螺杆 / 罗茨结构，不会出现油返流污染腔体，适配洁净制程的严苛要求。优化转子结构，压缩效率高，整机紧凑轻量化，能耗控制突出，内置状态监测模块，支持通讯接入产线 PLC 与上位系统。 产品线划分清晰，EV-A、EV-S 系列偏向洁净轻载工况，适合镀膜、分析仪器、真空干燥；EV-M、ESR 系列强化耐腐蚀、耐粉尘能力，面向刻蚀、CVD、PECVD 这类会产生腐蚀性副产物、粉末的苛刻半导体工艺；同时还有专门适配氢气、特种工艺排气的定制机型，在氢能测试、燃料电池产线配套场景适配度很高。 它的优势在于长期运行稳定性，全球累计出货 20 万台，全球配套服务网点完善，在无尘车间连续生产场景，低运维成本、低振动低噪音的特点尤为突出，除半导体外，也广泛用于平板显示、光伏、质谱分析、真空热处理领域EBARA CORP...。

通用泵类、风机与流体设备

这是荏原起家的传统强项，品类覆盖离心泵、磁力泵、化工流程泵、低温 LNG 泵、风机、冷水机组、冷却塔等。从小型设备配套循环泵，到南水北调、引黄入晋这类*大型输水工程的巨型泵站，再到石化、LNG 液化储能的低温特种泵，荏原都有成熟方案。 磁力泵、无密封泵系列，适合输送药液、冷却液、危化介质，零泄漏设计，在新能源、制药、化工流体回路里应用广泛；配套风机、冷水机组，则大量用于工厂暖通、洁净厂房温湿度管控、设备冷却系统，和我们常对接的冷却回路、流体管路配件可以成套搭配供货。

半导体 CMP 抛光设备与废气处理系统

CMP 化学机械平坦化设备，是*制程晶圆制造的关键设备，依靠纳米级精密控制，对晶圆表面做全局抛光平坦化，全球份额稳居行业第二，是高端芯片产线的核心装备。配套的废气处理系统，用于处理真空泵抽出的有毒、可燃、腐蚀性工艺尾气，实现无害化排放，真空 + 尾气治理一体化方案，是很多半导体原厂的标配组合方案荏原制作所。