EBARA 日本荏原EV-PA500小型单相风冷无油干式真空泵实验室 / 仪器便携干泵玉崎科学原装现货
来源：玉崎科学仪器（深圳）有限公司
发布时间：2026-06-03 19:40:30
EBARA 日本荏原EV-PA500小型单相风冷无油干式真空泵（实验室 / 仪器便携干泵）
EV-PA整机
一、产品定位
EV-PA 是荏原全系列*小款、单相宽电压、手提便携风冷罗茨干泵，主打实验室、分析仪器、检漏仪配套、小型腔体预抽；全系全风冷不用冷却水、220V 单相直插即用，区别：
- EV-PA：微型便携、单相 220V、洁净无腐蚀、实验室前级（*小）
- EV-S：中大型风冷三相、设备量产预抽
- EV-X/EV-M/EST：水冷大功率、蚀刻 / CVD 腐蚀制程（中大机型）
原厂日本整机进口，具备SEMI-S2、CE、NRTL安全，50/60Hz 工况抽速恒定不变荏原製作所。
二、主力型号参数（EV-PA250 / EV-PA500 两款量产）
表格
| 参数项目 | EV-PA250 | EV-PA500 |
|---|---|---|
| 标称抽速（关气镇） | 230 L/min | 500 L/min |
| 开气镇抽速 | 200 L/min | 430 L/min |
| 极限真空（关气镇） | 0.5 Pa | 0.5 Pa |
| 开气镇极限 | 2.0 Pa | 2.0 Pa |
| 供电 | 单相 100~240V 宽压（国内 220V 直用） | 单相 100~240V 宽压 |
| 额定功率（空载 / 峰值） | 0.24kW / 0.38kW | 0.27kW / 0.60kW |
| 整机净重 | 16kg（带手提） | 21kg（带手提） |
| 进出气口 | KF25(NW25) | KF25(NW25) |
| 外形尺寸 (mm) | 189×412×272 | 189×482×272 |
| 运行噪音 | 55dB(A) | 58dB(A) |
| 冷却方式 | 全风冷，无需外接冷却水 | 全风冷 |
三、五大核心产品优势
1、单相宽电压 + 免水冷，安装零配套
100~240V 全球通用，国内直接家用 220V 插座上电，无需冷水机、不用冷却水，设备随便摆放、临时挪动使用；机身顶部自带手提把手，单人轻松搬运。
2、全无油非接触罗茨结构，洁净真空
多级罗茨非接触转子，泵腔无润滑油、无油雾排放，不会污染腔体、样品、镀膜工件，替代老式旋片油泵，杜绝返油污染痛点；齿轮腔独立密封，仅轴承长效氟油润滑，不窜入真空腔体。
3、低维保，免频繁换件
无易损橡胶密封件，常规工况 2~3 年免拆保养，对比油泵省去定期换油、换油封成本；自带过热、过载保护，7×24h 连续空载 / 间歇负载稳定运行。
4、机身集成数显电控 + 远程通讯
正面液晶控制面板，实时运行状态显示；标配15Pin 通讯接口，支持 Modbus 外接 PLC / 检漏仪联动启停，适配自动化仪器配套。
5、小型低噪、空间友好
机身紧凑型箱体，桌面 / 设备机柜内置均可安装，低噪音实验室级，适配洁净实验室、理化分析环境。
四、后缀与配置说明
- 标准 N 款（常规现货）：普通镀镍腔体，适配干燥空气、氮气、洁净无腐蚀气体（市面主流）；
- 无强腐蚀特殊款：EV-PA 不做特氟龙防腐，仅洁净工况，腐蚀气体选型改用 EV-S/N 系列。
- 标配：内置气镇阀（含水汽工况开启，提升排水能力）、氮气吹扫接口 G1/8 内牙。
五、适配应用场景
EV-PA250（小流量）
- 质谱仪、扫描电镜 SEM、XRD、各类分析仪器前级真空泵
- 小型真空腔体、实验室镀膜机、手套箱预抽
- 便携式氦检设备配套、小腔体检漏机组
EV-PA500（大流量）
- 中小型真空烘箱、等离子清洗机、小型 PVD 预抽泵
- 高校实验室管式炉、快速热处理 RTP 配套前级
- 半导体小腔体 Loadlock 预抽、微型 ALD 设备前级
六、采购渠道
玉崎科学仪器（深圳）有限公司 原装现货供应
负责人：¹⁵⁸¹⁵⁵⁵⁰⁹⁹⁸ （林经理）
公司网站：www.shashinkagaku.com
地址：广东省深圳市龙华新区龙华街道906号电商集团7楼整层玉崎科学
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温馨提示：为规避购买风险，建议您在购买产品前务必确认供应商资质及产品质量。
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