三菱电机 MITSUBISHI OZONIZER 臭氧发生器 短间隙无声放电 OS‑5P

半导体 OZ‑H 系列：改良电介质材质，高温工况下依旧维持高浓度，减少放电单元清洗更换频次，适配 8‑12 寸晶圆纯水臭氧清洗、氧化工艺。

我司优势
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