什么是干式泵
来源：深圳市京都玉崎电子有限公司
发布时间：2026-09-21 19:47:36
干式泵是用来与湿式泵相对的术语，湿式泵使用油或其他液体来产生真空。干式泵有多种类型，其工作原理各不相同，包括罗茨式干式泵、涡旋泵、爪式干式泵和隔膜式干式泵。
此外，与旋转泵不同，它不会排放油雾，因此适合在洁净的环境中使用。
干式泵的用途
干式泵主要用于半导体生产线、食品加工生产线以及各种科学分析设备，包括电子显微镜。在这些应用中，避免工作环境受到污染至关重要。干式泵*的优势在于其排气中不含油雾或其他污染物，因此非常适合对环境洁净度要求较高的应用。
然而，干式真空泵的极限真空度仅约为1 Pa，并不高。当需要高真空时，通常需要与涡轮分子泵或离子泵联用。此外，不同类型干式真空泵的抽速也各不相同，因此必须根据具体应用选择合适的类型。
干式泵的原理
干式泵种类繁多，但其中许多属于气体输送泵。所有气体输送泵都设有吸入气体的进气口和排出气体的排气口。气体通过进气口吸入，再通过排气口排出，从而将气体从泵内排出。
这种机制通过输送各种气体来减少空间内的气体量，从而产生真空。与干式泵不同，湿式泵使用液压油来确保在输送气体时真空泵内部的完全密封。
除了密封作用外，液压油还能减少零件之间的磨损和摩擦，吸收气体压缩产生的热量（称为压缩热），并防止泵部件生锈。
干式泵的类型
干式泵有多种设计，用于输送气体。干式泵的主要类型是容积式泵，其中旋转泵*为常见。
1. 叶片泵
叶片泵是一种泵，其内部装有多个叶片，这些叶片在一个圆形空间内旋转，利用叶片产生空气湍流。叶片产生的离心力使其*与圆形空间的壁面接触，形成密封环境。
2. 爪泵
爪式泵有两个并排的爪形转子，它们反向旋转以排出气体。气体被压缩后排出到泵的外部。
3. 多级罗茨泵
多级罗茨泵也是一种利用一对反向旋转的转子将吸入的气体排出泵外的泵。这些转子的叶片横截面呈茧状。
4. 涡旋泵
涡旋泵是一种利用旋转涡旋在固定涡旋内移动来输送气体的泵，该固定涡旋的壁与涡旋的壁相同。
5. 螺杆泵
螺杆泵由一到三个螺杆和一个容纳螺杆的泵壳组成。当螺杆旋转时，气体被推出泵壳并排出。
除了上述旋转式干式泵外，还有采用容积式原理的往复式干式泵。往复运动的部件包括隔膜、活塞和波纹管。
干式泵的特点
干式泵的气体通道内不含液压油。因此，不存在油雾污染废气或油蒸发扩散到真空室的风险。干式泵的主要优点在于其能够提供清洁的废气和真空环境。
干式泵的一大优势在于无需定期维护，例如加注或更换机油。干式泵的其他特点包括体积小、重量轻、振动小、噪音低。
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