半导体药液流量监测*‑SAGINOMIYA 鹭宫 ULK‑3212PE201S

在半导体晶圆清洗、刻蚀、药液供给循环制程当中，药液流量的稳定性直接决定工艺批次良率。流量波动、断流、管路堵塞如果无法被及时监测，极易出现晶圆清洗不、药液配比失衡、腔体受腐蚀损伤等一系列生产隐患。传统流量计存在活动叶轮易被药液杂质卡滞、压损过高、腔体死角析出微粒污染流体等痛点，难以适配高洁净腐蚀性药液工况。

日本鹭宫制作所ULK‑3212PE201S 卡尔曼涡街式液体流量传感器，专为半导体、液晶面板制造设备药液管路在线监测打造，是流体回路稳定可控的高精度流量监测方案。

无活动部件，降低药液管路故障风险

ULK‑3212PE201S 采用涡街测量原理，传感器内部无叶轮、无轴承等运动零件，不存在旋转部件被药液沉淀物卡住、磨损的问题。减少定期维护拆解频次，适合 24 小时长期连续运行，有效降低因流量计故障造成产线停机的概率。

低压损设计，适配药液输送回路

半导体药液管路往往对管路压力变化十分敏感。该型号采用低压降流道结构，流体通过传感器时压力损耗极低，不会额外加重输送泵负载，保障储液罐‑管路‑工艺腔体整套循环系统流量平稳输出，微小流量变化也可稳定捕捉。

耐腐蚀洁净流道，适配多种半导体药液

接液材质耐酸碱腐蚀，可应用于纯水、显影液、蚀刻液、剥离液等多种工艺药液的流量监测；流道内部无滞留死角，减少药液残留结晶，降低微粒产生风险，契合洁净车间生产管控要求。

信号输出便捷，轻松接入设备自控系统

供电采用 DC12‑24V 工业直流电源，适配自动化设备标准供电回路，可输出流量监测信号，能够直接对接 PLC、设备控制系统，实现药液流量实时远程监控、断流报警，方便工程师在中控端实时掌握药液供给状态，做到异常提前预警。

典型应用场景

• 半导体晶圆清洗设备药液循环监测

• 刻蚀、涂布、显影设备供液管路流量检测

• LCD、Mini‑LED 面板制程药液供给回路

• 化工精密药液输送、高纯流体流量管控 
  
  
  
  
  
  
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