■调节范围宽 调节流量范围*小可选择5SCCM至6000SCCM。 ■稳定性高 由于针是直线移动,因此再现性好,无滞后现象。 即使压力或振动突然变化,开度也不会波动。 ■维护管理 针头与孔体完全兼容,维护方便。 不使用润滑脂等。