核级抗锯齿热处理系统激光平面瞬时加热装置SAKAGUCHI 坂口电热玉崎科学仪器原装供

来源:玉崎科学仪器(深圳)有限公司
发布时间:2026-09-15 16:14:42

核级抗锯齿热处理*小系统(*小激光氢退火系统)

<硅微结构的原子级平滑和圆角控制可实现MEMS器件在各个领域和应用中的高性能和高可靠性!>
由东北大学金森义明教授发明的一种利用氢气气氛退火对三维结构进行平滑和圆角的新技术,已通过东北大学、产业技术综合研究所(AIST)和微型制造推进机构在2018-2020财年创新技术支持项目下的联合开发而实现商业化。

核级抗锯齿热处理*小系统激光平面瞬时加热装置SAKAGUCHI 坂口电热玉崎科学仪器原装供

特征

  • φ12.5mm晶圆(单晶圆加工)
  • 紧凑型外壳(宽约30厘米)
  • 无需洁净室
  • 低功耗(额定交流100V 10A)
  • 适用于高真空应用(5 × 10⁻⁵ Pa 或更低)
  • 温度快速升高/降低(2.5秒内升至1100℃)
  • 温度控制稳定(1100℃±0.5℃)
  • 温度分布均匀(变异性(σ/平均值)0.5%)

性能示例

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参考视频(本设备介绍)




SAKAGUCHI 坂口电热 供货采购渠道


玉崎科学仪器(深圳)有限公司  原装现货供应
负责人:¹⁵⁸¹⁵⁵⁵099⁸ (林经理)
公司网站:www.shashinkagaku.com

地址:广东省深圳市龙华新区龙华街道906号电商集团7楼整层玉崎科学

我司代理及优势一览明细:

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优势产品:日本紫外线照度计、紫外线装置灯管、LED视觉光源、表面检查灯、手持检测灯

变色灯箱、色差仪、卤素光源装置、氧气浓度计、焊接机、应力表面检查仪、LED光源机、电子天平、粘度计、膜厚计、恒流泵、采样泵、PH计、水分计、地震测试仪、脱泡搅拌机、压力传感器、气体检测仪、接近开关、拉拔机、异音检测仪、应变测试仪、拉针仪、水平测试仪等

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