GR-C100 是日本美幸辉 (MIYUKI) 公司 GR 系列中的一款 DN100 气动高真空闸阀。它采用气动驱动,专为要求高真空密封性与洁净度的自动化应用而设计。
| 参数项目 | 规格指标 | |
|---|---|---|
| 与系列 | 日本 美幸辉 (MIYUKI),GR 系列 | |
| 型号 | GR-C100 | |
| 公称通径 | DN100 (100mm) | |
| 驱动方式 | 气动(压缩空气) | |
| 法兰连接 | 兼容 JIS、ISO、CF、KF 等标准 | |
| 压力范围 | 大气压 ~ 1×10⁻⁶ Pa (高真空) | |
| 泄漏率 (阀座) | ≤ 1×10⁻¹⁰ Pa·m³/s | |
| 泄漏率 (阀体) | ≤ 1×10⁻¹¹ Pa·m³/s | |
| 阀体材质 | 不锈钢 SUS304(真空钎焊) | |
| 密封件材质 | 标配 氟橡胶 (FKM),可选 Kalrez 全氟醚 | |
| 耐温范围 | -30℃ ~ 150℃(适配腔体烘烤除气) | |
| 安装方向 | 任意角度 | |
| 开度指示 | 带微动开关,用于检测全开和全关位置 |
紧凑化设计:执行器的放置位置经过优化,旨在缩短阀门的外部轮廓尺寸,使其能更好地适配空间有限的真空系统。
优异的抗反压密封性能:阀体密封机构采用均匀分布的压球方式,在反向压力下也能保持高可靠性,确保真空系统的稳定。
低释气、高洁净:不锈钢外壳采用真空钎焊工艺,消除了内表面的死角,有效减少了气体释放(脱气)。产品在无尘室中完成组装和检查。
可靠的驱动与缓冲:气缸设计巧妙,关闭时推力加倍以确保密封牢固,同时在行程末端形成气垫效果以起到减震作用。
安装灵活:支持任意角度安装,可适应多样化的紧凑管路布局。
半导体制造:刻蚀、沉积(PVD/CVD)等工艺设备的真空管路自动控制。
光学镀膜:真空镀膜设备的气动阀门。
科研与航天:高真空实验装置的自动化操作。
