日本爱发科ULVAC LS1200A 干式螺杆真空泵 深圳京都玉崎现货

日本爱发科ULVAC LS1200A 干式螺杆真空泵 深圳京都玉崎现货

日本爱发科ULVAC LS1200A 干式螺杆真空泵 深圳京都玉崎现货

高抽速低能耗干式螺杆泵怎么选？ULVAC LS1200A，抽速120~1000m³/h，洁净/轻工艺双版本可选

开篇：大流量干泵能耗太高？LS系列省电才是硬道理

溅射镀膜、蒸镀、负载锁室、真空干燥——这些场景需要的是大抽速干式真空泵。但传统干泵功耗高、运行成本大。很多工程师选型只看抽速，忽略了功耗和工艺适配性。

更隐蔽的坑：LS系列分C型（洁净工艺） 和L型（轻工艺） 两种规格。C型内置ECO-SHOCK技术，极限压力下功耗仅0.6kW（LS120A-C）；L型带表面处理和清洗功能，适用于蒸汽和挥发性液体。选型时不看后缀，洁净工艺选了L型浪费成本，含蒸汽工艺选了C型泵会坏。

ULVAC LS120A / LS300A / LS600A / LS1200A 干式螺杆真空泵，高抽速、低功耗，抽速覆盖120~1000 m³/h。

四款型号核心参数对比

数据来源：ULVAC越南*、ULVAC经销商

C型 vs L型核心区别：

• C型（洁净工艺） ：内置ECO-SHOCK低功耗技术，适用于空气和氮气等洁净工艺

• L型（轻工艺） ：带表面处理和清洗功能，适用于蒸汽和挥发性液体

一、LS120A：小型干式螺杆泵，洁净工艺入门标配

LS120A *抽速 120 m³/h，极限压力 ≤ 0.6 Pa（C型）。适合小腔体、对洁净度和低功耗有要求的场景。

• C型功耗仅 0.6 kW，行业*

• 重量 142 kg，LS系列*轻

• 进气口：KF50（水平）/ VG50（垂直） 

• 噪音仅 ≤ 61 dB(A) 

• 冷却水流量 > 2.0 L/min

• 电源：三相 200-240V / 380-460V 宽电压

适合谁：小型溅射设备、蒸镀设备、层压机、负载锁室、TMP前级泵（C型）；小型真空干燥、冷冻干燥（L型）。

二、LS300A：中型干式螺杆主力，镀膜/干燥黄金搭档

LS300A *抽速 380 m³/h，极限压力 ≤ 0.1 Pa（C型）。抽速是LS120A的三倍，适合中等规模真空设备。

• C型功耗 1.0 kW，L型功耗 2.5 kW

• 重量 220 kg

• 进气口：ISO-F-50

• 噪音 ≤ 61 dB(A) 

• 冷却水流量 > 4.0 L/min

• 清洗气体流量 0~50 SLM（L型）

适合谁：中型溅射设备、蒸镀设备、负载锁室（C型）；中型真空干燥、冷冻干燥、灰化处理（L型）。

三、LS600A：中大型干式螺杆，大抽速主力

LS600A *抽速 600 m³/h，极限压力 ≤ 0.1 Pa（C型）。适合大腔体、高抽速需求的洁净真空场景。

• C型功耗 1.3 kW，L型功耗 2.6 kW

• 重量 242 kg

• 进气口：ISO-F-80

• 噪音 ≤ 62 dB(A) 

• 冷却水流量 > 4.0 L/min

适合谁：大型溅射设备、蒸镀设备（C型）；大型真空干燥、冷冻干燥（L型）。

四、LS1200A：*号干式螺杆，1000m³/h大抽速

LS1200A *抽速 1000 m³/h，极限压力 ≤ 0.1 Pa（C型）。LS系列*号，适合大型真空系统。

• C型功耗 1.3 kW，L型功耗 2.7 kW

• 重量 266 kg，LS系列*重

• 进气口：ISO-F-100

• 噪音 ≤ 64 dB(A) 

适合谁：大型溅射/蒸镀生产线、大型负载锁室（C型）；大型真空干燥系统、工业级冷冻干燥（L型）。

五、LS系列共同优势：高抽速 + 低功耗 + 低噪音

LS系列是ULVAC螺杆型干式真空泵，通过独创的螺杆形状和节电技术的融合，实现兼顾高速排气和低功耗。六大核心优势：

• 高抽速：大气压附近排气速度*80 m³/h，与传统泵相比排气时间可缩短约20%

• 低功耗：C型标配ECO-SHOCK技术，极限压力下功耗行业*

• 低噪音：标配消音器，极限压力下噪音≤61~64 dB(A) 

• 低运行成本：无需轴封气体

• 宽电压电机：ULVAC完全开发的高效（IE3）多电压马达，单一马达覆盖200-240V / 380-460V

• 稳定抽速：强制油循环系统使抽速在接近大气压时仍保持稳定

六、工程师选型避坑：LS系列怎么选

选型三步法：

1. 先定工艺类型：洁净工艺（空气/N₂）→ C型；含蒸汽/挥发性液体 → L型

2. 再算抽速：小腔体 → LS120A（120 m³/h）；中型 → LS300A（380 m³/h）；大型 → LS600A（600 m³/h）；大型 → LS1200A（1000 m³/h）

3. 确认电源：三相 200-240V 或 380-460V 均可

*不能做的事：

• C型用在含蒸汽工艺——无清洗功能，泵体腐蚀

• L型用在洁净工艺——功耗更高，成本浪费

• 冷却水流量不足——过热损坏

• 抽腐蚀性气体或大量粉尘——需加装前置过滤器

七、供货与服务保障

• 授权渠道：深圳京都玉崎 — ULVAC爱发科授权经销商

• 发货地：深圳仓 / 上海仓 直发

• 供货周期：LS系列 订货3~4周

• 配套一站式采购：MBP进气法兰适配器、抗震支架、清洗气体阀门、LR兼容单元

• 技术支持：免费提供C型/L型选型建议、抽速计算、安装指导

八、落地适配全场景

• C型（洁净工艺） ：溅射、蒸镀、层压、负载锁室、TMP前级泵

• L型（轻工艺） ：真空干燥、冷冻干燥、灰化处理、一般工业用途

九、结尾转化

干式螺杆泵选型怕C/L分不清、怕功耗太高？

ULVAC LS120A / 300A / 600A / 1200A，深圳京都玉崎订货直发，工程师可协助出具《LS系列选型确认表》。

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