日本MIYUKI美幸辉 真空L型阀门 ABR-N160

日本MIYUKI美幸辉  真空L型阀门 ABR-N160

日本MIYUKI美幸辉  真空L型阀门 ABR-N160

产品核心优势（对比同规格 AER-N160）

项目	ABR-N160（波纹管）	AER-N160（O 圈轴封）
轴封结构	金属波纹管，无橡胶外露	FKM O 圈动密封
极限真空	10−7Pa高真空	10−5Pa中真空
烘烤能力	200℃可高温除气	≤150℃严禁烘烤
洁净度	无塑胶析出，高纯工况	有橡胶微量放气
成本	高端款、维保偏高	经济型、高

1. KF160 快装法兰：卡扣式免螺栓拆装，设备检修、管路拆装快捷，通用国标真空管路。

2. 全金属波纹管密封：隔绝大气与真空腔体，无橡胶挥发污染腔体，满足高纯气体、洁净工艺要求。

3. 内置气缸缓冲：启闭缓冲减震，阀座冲击小，延长密封使用寿命；L 型平滑内腔流阻小、抽气速率快。

典型应用

1、精密真空镀膜（主力场景）

PVD 磁控溅射、光学镀膜、ITO 导电膜设备高真空主抽隔断阀、分子泵入口阀；粗抽管路选用 AER-N160，高真空主管标配 ABR-N160。

2、半导体 / 光伏

晶圆镀膜、PECVD 腔体真空隔离阀、高纯工艺气切断阀、真空检漏氦检设备主阀。

3、科研 & 航天

高校高真空实验舱、空间环境模拟舱、材料高温烧结炉真空主阀（需腔体烘烤除气）。

4、锂电 & 特种化工

固态电池真空烧结炉、高纯原料真空蒸馏釜、腐蚀性气体真空处理系统。

5、进口真空机组

分子泵 + 干式泵高真空机组主隔离阀、精密真空腔体破空旁路阀。

同法兰规格选型（KF160）

• ABR-N160：波纹管高真空、可烘烤、精密工艺*

• AER-N160：O 圈中真空、不可烘烤、量产粗抽经济型

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