东丽 LC-860 氧化锆氧气表 高性能氧分析仪

来源:玉崎半导体(深圳)有限公司
发布时间:2026-06-12 16:27:03

一、概述

LC-860 是日本东丽(TORAY)推出的高性能通用型氧化锆氧分析仪,主打高精度、宽量程、强稳定性,面向半导体、热处理、空分、科研实验室等对氧浓度检测要求严苛的场景。整机采用桌面 / 面板安装两用设计,内置高稳定性氧化锆传感器与精密采样泵,可实现 0.1ppm~100vol% O₂ 宽量程连续在线监测,兼顾微量氧与高浓度氧测量,是工业级精密氧分析的机型。

二、测量原理

采用高温氧化锆浓差电池原理(能斯特方程)
  1. 内置东丽氧化锆传感器,加热至 ** 约 700℃** 高温,形成稳定氧离子传导通道。
  2. 被测样气与大气(参比气)在传感器两侧形成氧分压差,产生浓差电势,电势与氧浓度呈对数线性关系。
  3. 内置精密采样泵以1000–2000mL/min流量抽取样气,经多级过滤净化后送入传感器;电路系统将电势信号换算为氧浓度,6 位 LED 实时显示,同步输出模拟 / 数字信号与报警触点。
  4. 核心优势:无电解液、零点漂移小、抗污染能力强、传感器寿命长(≥5 年),适配长期连续运行,维护成本低。

三、核心特点

1. 宽量程 + 分级高精度,全场景覆盖

  • 测量范围:0.1ppm~100vol% O₂;氧分压显示 10⁻²⁰~10⁰ atm
  • 量程配置:0–1/10/100/1000ppm、1/10/100vol%,支持自动 / 手动量程切换
  • 精度分级:
    • ≥10ppm 量程:±1% FS(重复性)
    • 0.1%~25%O₂:±0.5% FS
    • 25%~*O₂:±1% FS
    • <1ppm 为参考值(非保证)。
  • 单台覆盖ppb 级痕量氧(可扩展)至纯氧,无需多台设备切换,降低采购与维护成本。

2. 6 位高清显示 + 智能功能,操作直观

  • 显示:6 位 LED 数码管,浓度直读,自动 / 手动量程切换,读数*清晰。
  • 智能功能:自动量程切换、自动校准提醒、故障自诊断,降低操作门槛,减少人为误差。
  • 参比气:大气自动参比,无需额外参比气供应,简化系统配置。

3. 内置精密采样泵 + 气路,适配复杂工况

  • 采样系统:内置高稳定性连续抽吸泵,流量 1000–2000mL/min;传感器专属流量 200±50mL/min,保障测量稳定性。
  • 气路接口:INLET(样气入口)Rc1/8、BYPASS OUT(旁路出口)Rc1/8、OUTLET(排放口)Rc1/4,适配标准管路,安装便捷。
  • 样气条件:压力≤30kPa、温度 0–50℃、露点<环境温度;禁含腐蚀性气体、有机硅、油雾,适配多数工业场景。
  • 过滤系统:标配多级精密过滤,阻隔粉尘、油雾、有机物,保护传感器,延长寿命。

4. 丰富工业接口 + 易集成,适配自动化系统

  • 模拟输出:4–20mA/0–10V(隔离型),负载≤600Ω,适配 PLC/DCS。
  • 数字通信:RS-232C,支持上位机数据交互与远程监控。
  • 报警输出:2 路浓度报警(HH/H/L/LL 可选)+1 路故障报警,无电压触点输出(触点容量≤30VDC/AC,0.5A),安全可控。
  • 远程控制:支持外部无电压接点远程启停采样泵,适配自动化集成场景。

5. 坚固耐用 + 合规,长期稳定运行

  • 结构设计:桌面 / 面板安装两用,尺寸 288×144×400mm,重量约 10kg,哑光黑涂层,耐腐蚀、抗老化。
  • 供电:AC100–240V,50/60Hz,全球通用,适配工业电网。
  • CE、UKCA、RoHS,符合 EN61010-1、EN61326-1 标准,安全可靠。
  • 传感器寿命:常规工况 **≥5 年 **,长期漂移极小,减少校准频率,降低维护成本。

四、详细技术参数

(一)整机参数

表格
参数 规格
型号 LC-860(交流供电高性能型)
测量原理 氧化锆浓差电池型(能斯特方程)
显示方式 6 位 LED 数码管(浓度直读),自动 / 手动量程
测量范围 0.1ppm~100vol% O₂;10⁻²⁰~10⁰ atm(<1ppm 无保证)
量程配置 0–1/10/100/1000ppm、1/10/100vol%,自动 / 手动切换
精度 ≥10ppm:±1% FS;0.1%–25%:±0.5% FS;25%–*:±1% FS
重复性 ±1% FS(≥10ppm 量程)
零点稳定性 ±1% FS/24h
响应时间 ≤30 秒(T90)
预热时间 ≤20 分钟
采样方式 内置泵连续抽吸
样气流量 1000–2000mL/min;传感器流量 200±50mL/min
样气压力 ≤30kPa(绝压)
样气温度 0–50℃
样气湿度 露点低于环境温度(无冷凝)
供电电源 AC100–240V,50/60Hz,约 50VA
外形尺寸 288(宽)×144(高)×400(深)mm
重量 约 10kg
CE、UKCA、RoHS

(二)输出与报警

表格
参数 规格
模拟输出 4–20mA/0–10V(隔离型),负载≤600Ω
数字通信 RS-232C
报警输出 2 路浓度报警(HH/H/L/LL)+1 路故障报警,无电压触点,触点容量≤30VDC/AC,0.5A
远程控制 外部无电压接点远程启停采样泵

五、典型应用场景

  1. 半导体 / 电子:扩散炉、外延炉、ALD 设备、封装腔体的微量氧精密监测,保障薄膜沉积、刻蚀等工序稳定性。
  2. 工业热处理:真空炉、退火炉、渗碳炉、锂电烧结炉等惰性气体保护气氛氧含量监测,防止工件氧化,提升产品良率。
  3. 空分 / 气体制造:氮气、氩气、氦气等惰性气体纯度监测,实时检测氧杂质含量,保障气体质量。
  4. 科研实验室:厌氧舱、手套箱、气体配比系统、材料研发的氧浓度精密控制与分析。
  5. 通用工业:惰性气体保护装置、气体纯化设备、气氛炉、包装行业残氧检测等场景的在线监测与闭环控制。

六、LC-860 与 LC-450 系列选型对比

表格
型号 量程精度 显示 尺寸 / 重量 核心适用场景
LC-860 高精度(±0.5% FS@0.1%–25%) 6 位 LED 288×144×400mm/10kg 半导体、科研、高精度工业场景
LC-450A/D 标准精度(±1% FS) 4 位 LED 210×134×300mm/6kg 常规工业、热处理、空分通用场景

七、结

LC-860 氧化锆氧气表以宽量程、分级高精度、6 位高清显示、内置精密采样泵、丰富工业接口、长寿命传感器为核心优势,*适配半导体、科研实验室、高精度工业等严苛场景的氧浓度监测需求。其坚固结构、全球通用供电与合规,可无缝集成各类自动化系统,长期稳定运行,助力制程质量精密管控与安全保障,是高性能氧浓度检测的*机型。
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