日本爱发科ULVAC UR 3601-TT 多级罗茨型干式真空泵 深圳京都玉崎现货

日本爱发科ULVAC UR 3601-TT 多级罗茨型干式真空泵 深圳京都玉崎现货

日本爱发科ULVAC UR 3601-TT 多级罗茨型干式真空泵 深圳京都玉崎现货

CVD/刻蚀高温工艺干泵怎么选？ULVAC UR 3601-TT，高温均热化+加热管路，活性气体/可升华物质排气

开篇：CVD和刻蚀的高温废气，HR系列也扛不住

CVD、刻蚀、灰化、ALD——这些工艺排出的可升华废气物质和腐蚀性气体，对干式真空泵是极限考验。HR系列通过高温均热化解决了部分问题，但有些工艺需要更高的温度，甚至需要加热气体管路和排气管线，防止废气在离开泵体后冷凝。

更隐蔽的坑：UR系列是ULVAC干式泵中温度*的系列，适用于需要加热泵体、加热气体管路和/或加热排气管线的应用。UR系列可比HR系列达到更高的温度。选型时不看工艺温度要求，以为HR系列够用，结果废气在管路中冷凝堵塞，频繁停机清理。

ULVAC UR421-T / UR600 / UR1200 / UR1800 / UR3601-TT 多级罗茨型干式真空泵，专为需要加热泵体、加热气体管路和/或加热排气管线的高温工艺设计。通过高温区域均热化将可升华废气物质以气态形式排出，抽速覆盖410~2700 m³/h。

五款型号核心参数对比

数据来源：ULVAC越南*、岩濑商事

注1：UR421-T、UR600、UR1200、UR1800和UR3601-TT应在200Pa（1.5 Torr）以下运行。
注2：UR600、UR1200、UR1800、UR3601-TT为干式真空泵+机械增压泵（MBP）组合机型。
注3：MBP转子叶片表面处理为可选（UR600/1200/1800/3601-TT）。

一、UR421-T：高温单台干泵，CVD/刻蚀高温入门标配

UR421-T *抽速 410 m³/h（50Hz） ，极限压力 5.0 Pa。是UR系列中*非组合机型的单台干泵，适合对高温有要求但安装空间有限的场景。

• 重量 415 kg

• 吸气口径 VG100，排气口径 VG50

• 电源：三相 180~240V / 380~440V (50/60Hz)

• 稳定时电流 23 A (at 200V) ，*负荷电流 52.5 A (at 200V)

• 冷却水流量 >5.0 L/min，一次压力 0.2~0.5 MPa，出入口压差 >0.2 MPa

• N₂吹扫（轴）5 SLM，气镇 0~195 SLM（UR系列中气镇流量*）

• 瞬停对策：可承受*长 1000ms 的电源中断

• 氦气密封：搭载屏蔽电动机形成密闭结构，安全且易于维护

适合谁：小型CVD设备、刻蚀设备、灰化设备、ALD/ALH等需要加热泵体的高温工艺。

二、UR600：组合机型，653m³/h大抽速高温干泵

UR600 由UR90干式真空泵 + PRC-006A机械增压泵（MBP） 组合而成。*抽速 653 m³/h（50Hz）/ 701 m³/h（60Hz） ，极限压力 0.67 Pa。

• 重量 370 kg

• 吸气口径 VG80 (KF80) ，排气口径 KF40

• 电源：三相 200V (50/60Hz) / 220V (60Hz)

• 稳定时电流 16.4 A (at 200V) ，*负荷电流 17.3 A (at 200V)

• 冷却水流量 >5.0 L/min，一次压力 0.1~0.3 MPa，出入口压差 >0.1 MPa

• MBP转子叶片表面处理可选

⚠️ 重要提醒：UR600为组合机型，应在200Pa（1.5 Torr）以下运行。

适合谁：中型CVD设备、刻蚀设备、灰化设备、ALD/ALH等高温工艺。

三、UR1200：中大型组合机型，1012m³/h大抽速

UR1200 由UR90干式真空泵 + PRC-012A机械增压泵（MBP） 组合而成。*抽速 1012 m³/h（50Hz）/ 1051 m³/h（60Hz） ，极限压力 0.67 Pa。

• 重量 403 kg

• 吸气口径 VG100 (KF100) ，排气口径 KF50

• 电源：三相 180~240V / 380~440V (50/60Hz)

• 稳定时电流 18.9 A (at 200V) ，*负荷电流 22.4 A (at 200V)

• 冷却水流量 >5.0 L/min，一次压力 0.1~0.3 MPa，出入口压差 >0.1 MPa

• 气镇 0~195 SLM

⚠️ 重要提醒：UR1200为组合机型，应在200Pa（1.5 Torr）以下运行。

适合谁：大型CVD设备、刻蚀设备、灰化设备、ALD/ALH等高温工艺。

四、UR1800：大型组合机型，1701m³/h高抽速

UR1800 由UR180干式真空泵 + PRC-018A机械增压泵（MBP） 组合而成。*抽速 1701 m³/h（50Hz）/ 1784 m³/h（60Hz） ，极限压力 0.67 Pa。

• 重量 553 kg

• 吸气口径 VG150 (KF100) ，排气口径 KF50

• 电源：三相 180~240V / 380~440V (50/60Hz)

• 稳定时电流 29.2 A (at 200V) / 20.5 A (at 400V) ，*负荷电流 34.9 A (at 200V) / 40.5 A (at 400V)

• 冷却水流量 >5.0 L/min，一次压力 0.1~0.3 MPa，出入口压差 >0.1 MPa

• 气镇 0~195 SLM

⚠️ 重要提醒：UR1800为组合机型，应在200Pa（1.5 Torr）以下运行。

适合谁：大型CVD设备、刻蚀设备、灰化设备、ALD/ALH等高温工艺。

五、UR3601-TT：*号组合机型，2700m³/h工业级高温干泵

UR3601-TT 由UR421-T干式真空泵 + PRC-036C-T机械增压泵（MBP） 组合而成。*抽速 2700 m³/h（50Hz） ，极限压力 0.67 Pa。UR系列*号，适合大型CVD/刻蚀系统。

• 重量 720 kg（UR系列*重）

• 吸气口径 VG150

• 电源：三相 180~240V / 380~440V (50/60Hz)

• 稳定时电流 39.8 A (at 200V) / 20.5 A (at 400V) ，*负荷电流 68.3 A (at 200V) / 40.5 A (at 400V)

• 冷却水流量 >5.0 L/min，一次压力 0.2~0.5 MPa，出入口压差 >0.2 MPa

• 气镇 0~195 SLM

⚠️ 重要提醒：UR3601-TT为组合机型，应在200Pa（1.5 Torr）以下运行。

适合谁：大型CVD设备、刻蚀设备、灰化设备、ALD/ALH等高温工艺。

六、UR系列共同优势：高温均热化 + 加热管路 + 耐腐蚀 + 瞬停对策

UR系列是ULVAC多级罗茨型干式真空泵中温度*的系列，适用于需要加热泵体、加热气体管路和/或加热排气管线的应用。六大核心优势：

• 高温区域均热化：UR系列可比HR系列达到更高的温度，通过高温范围均化泵体，使CVD、刻蚀等产生的可升华废气物质以气态形式排出

• 加热气体管路/排气管线：不仅加热泵体，还可加热气体管路和排气管线，防止废气在离开泵体后冷凝

• *的耐腐蚀性：内部零部件经过特殊处理，具有高表面硬度和耐腐蚀性，防止腐蚀性气体对泵内部的磨损和腐蚀

• *的氦气抽取能力：采用密封电机（Canned Motor） ，密闭结构确保安全且易于维护

• 瞬停对策：可承受*长 1000ms 的电源中断

• 通信功能：可读取泵运转状态数据、警告/报警履历，支持集中监控

七、工程师选型避坑：UR系列怎么选

选型四步法：

1. 确认是否需要UR系列：需要加热泵体、加热气体管路和/或加热排气管线 → UR系列；只需要加热泵体（不需要加热管路）→ HR系列可能够用

2. 确认温度需求：UR系列可比HR系列达到更高的温度——如果HR系列温度不够，必须选UR系列

3. 算抽速：小腔体（410 m³/h级）→ UR421-T；中型（653 m³/h级）→ UR600；大型（1012~1701 m³/h级）→ UR1200/UR1800；大型（2700 m³/h级）→ UR3601-TT

4. 确认组合机型构成：UR600及以上为干式泵+机械增压泵组合，体积和重量较大，需确认安装空间

*不能做的事：

• 把UR系列当成普通干泵用在低温工艺——极低，应选LR系列

• UR421-T/600/1200/1800/3601-TT在200Pa以上运行——出设计运行范围

• 冷却水流量不足（需>5.0 L/min）——过热损坏

• N₂吹扫不供应（需5 SLM）——密封效果下降

• 抽大量粉尘不加装前置过滤器——损坏泵体

• UR421/3601系列承受正压——UR421/3601系列泵不能承受正压

八、供货与服务保障

• 授权渠道：深圳京都玉崎 — ULVAC爱发科授权经销商

• 发货地：深圳仓 / 上海仓 直发

• 供货周期：UR系列 订货4~6周

• 配套一站式采购：MBP机械增压泵、加热气体管路组件、加热排气管线组件、消音器、KF/ISO-K法兰管路、冷却水系统配件、氮气吹扫控制系统

• 技术支持：免费提供LR/HR/UR选型对比建议、温度需求评估、抽速计算、冷却水/N₂条件评估、安装指导

九、落地适配全场景

• CVD设备：化学气相沉积工艺排气

• 刻蚀设备：干法刻蚀工艺排气

• 灰化设备：光刻胶灰化工艺

• ALD/ALH设备：原子层沉积/外延工艺

• 需要加热泵体、加热气体管路和/或加热排气管线的应用

十、结尾转化

CVD/刻蚀高温干泵选型怕LR/HR/UR分不清、怕温度不够、怕组合机型买错？

ULVAC UR421-T / 600 / 1200 / 1800 / 3601-TT 高温均热化干式真空泵，深圳京都玉崎订货直发，工程师可协助出具《UR系列选型确认表》。

立即私信或留言，发送您的工艺类型（CVD/刻蚀/灰化/ALD）+ 工艺温度 + 是否需要加热管路 + 腔体容积，我们免费出具选型建议！