日本原厂 DF1000 卧式扩散炉 OHKURA大仓

特征

■改善均热特性
与工作温度相匹配的加热器与我们的高性能控制器相结合，可实现稳定的温度控制和均热长度。
■适用于100至200毫米晶圆。
扩散炉系统从φ100mm到φ200mm，可以满足客户的要求。
■维护方便
即使其他加热器的温度上升，该结构也可以安全地更换热电偶和加热器。
■
通过精选的零部件和精简的结构，实现了低廉的价格。
■支持更新
通过将外部尺寸保持在*小限度，我们还可以适应空间有限的旧系统的更新。